진공 FJ-700 터보 펌프 스테이션 웨이트 냉각

유형: 반대 부식제

플랜지: DN160 CF/ISO-K

펌핑 속도: 600L/초 N2

궁극의 압력: ISO-K:6×10-7,CF:6×10-8, Pa

펌핑 속도: 600L/초 N2

냉각: 공기

궁극의 압력: ISO-K:6×10-7,CF:6×10-8, Pa

진공 시스템의 누출율:: ≤ 1×10-9Pa·m3/S

궁극의 압력: CF:6×10-7 ISO-K:6×10-6 Pa

플랜지: DN100 CF/ISO-K

포어라인 펌프: 4L/s

펌핑 속도: N2:110L/초

펌핑 펌프: 62L/초 N2

역 펌프: GHD-031B (오일펌프) KNF 813.3 ANF (건식펌프)

궁극의 압력: 3×10-5(ISO-K);5×10-6(CF)

권장 전진공 압력: 50Pa

펌핑 속도: 700L/초 N2

궁극의 압력: CF:6×10-8 ISO-K:6×10-7 Pa

냉각 유형, 표준: 와테

냉각수 소비: 1