탑승 1401l/S 터보 분자 진공 펌프 산업
자기 부상 펌프, CXF-200/1401, 수냉식, 온보드 전자기 베어링은 "활성 자기 부상 곰"이라고도 불리며 자기 베어링, 센서 및 제어 시스템으로 구성됩니다. 이 디자인은 동적 반응과 적시 조정, 고속 샤프트 및 안정적인 작동을 제공합니다. 자기부상 분자펌프는 자기력에 의해 샤프트가 지지되는 펌프이다. 시리즈 자기 부상 분자 펌프는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업용 도금 및 과학 장비 분야의 응용 요구 사항을 충족하기 위해 KYKY에서 개발한 진공 생성 장비입니다. 장점: 1. 작동 중 마찰이 없고 전력 소모가 적습니다. ...
1401l/S 터보 분자 진공 펌프
,산업용 터보 분자 진공 펌프
자기 부상 펌프, CXF-200/1401, 수냉식, 온보드
전자기 베어링은 "활성 자기 부상 곰"이라고도 불리며 자기 베어링, 센서 및 제어 시스템으로 구성됩니다. 이 디자인은 동적 반응과 적시 조정, 고속 샤프트 및 안정적인 작동을 제공합니다.
자기부상 분자펌프는 자기력에 의해 샤프트가 지지되는 펌프이다.
시리즈 자기 부상 분자 펌프는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업용 도금 및 과학 장비 분야의 응용 요구 사항을 충족하기 위해 KYKY에서 개발한 진공 생성 장비입니다.
장점:
1. 작동 중 마찰이 없고 전력 소모가 적습니다.
2. 펌프에 윤활유를 사용하지 않고도 매우 깨끗한 고진공 및 초고진공을 쉽게 얻을 수 있습니다.
3. 부식성 가스를 장기간 추출 가능
4. 정밀 세라믹 볼로 베어링을 보호하여 안전성이 높고 수명이 길다.
5. 갑작스런 전원 차단시 발전 기능
명세서:
| 모델 | CXF-200/1401 |
| 펌프 속도(l/s,공기) | 1400 |
| 압축비 | >1×107 |
| 극진공(Pa) | ≤2×10-6 |
| 입구 플랜지 | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| 출구 플랜지 | KF 40 |
| 회전속도(rpm) | 33000 |
| 실행 시간(분) | 6 |
| VIB(mm) | <0.05 |
| 배압 펌프(L/s) | 15 |
| 장착 또는 방향 | 어느 |
| 냉각방식 | 물 |
| 무게(kg)(컨트롤러 포함) | 51 |
신청:
시리즈 자기 부상 분자 펌프는 주로 반도체 제조, 클립 제조, 산업용 도금 및 과학 기기 분야에 적용되며 특히 식각, CVD, PVD 및 이온 주입에 존재하는 부식성 가스 및 상온에서 쉽게 응고되는 가스의 추출에 적용됩니다.
