1401l/S ターボ分子真空ポンプ工業
リニアモーターカーポンプ CXF-200/1401 水冷 車載 電磁軸受は「能動磁気浮上ベア」とも呼ばれ、磁気軸受、センサー、制御システムから構成されます。この設計は、ダイナミックな応答とタイムリーな調整、高速シャフト動作、および信頼性の高い動作を備えています。 磁気浮上分子ポンプは、磁力によって軸を支持するポンプです。 シリーズ磁気浮上分子ポンプは、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野のアプリケーション要件を満たすためにKYKYが開発した真空発生装置です。 利点: 1. 動作時のフリクションゼロ、低消費電力 2. ポンプ無給油で本当にクリーンな高真空・超高真空が簡単...
1401l/s ターボ分子真空ポンプ
,産業用ターボ分子真空ポンプ
リニアモーターカーポンプ CXF-200/1401 水冷 車載
電磁軸受は「能動磁気浮上ベア」とも呼ばれ、磁気軸受、センサー、制御システムから構成されます。この設計は、ダイナミックな応答とタイムリーな調整、高速シャフト動作、および信頼性の高い動作を備えています。
磁気浮上分子ポンプは、磁力によって軸を支持するポンプです。
シリーズ磁気浮上分子ポンプは、現代の半導体製造、チップ製造、工業用メッキおよび科学機器の分野のアプリケーション要件を満たすためにKYKYが開発した真空発生装置です。
利点:
1. 動作時のフリクションゼロ、低消費電力
2. ポンプ無給油で本当にクリーンな高真空・超高真空が簡単に得られます。
3. 長期間の腐食性ガスの抽出が可能
4. 精密セラミックボールによるベアリング保護により高い安全性と長寿命を実現
5. 突然の停電時の発電機能
仕様:
| モデル | CXF-200/1401 |
| ポンプ速度(l/s、エア) | 1400 |
| 圧縮率 | >1×107 |
| 到達真空度(Pa) | ≤2×10-6 |
| インレットフランジ | DN200 ISO K(LF) |
| DN200ISOF | |
| DN200 ISO CF | |
| 出口フランジ | KF40 |
| 回転数(rpm) | 33000 |
| 立ち上がり時間(分) | 6 |
| VIB (mm) | <0.05 |
| 補助ポンプ(L/s) | 15 |
| 取り付けまたは向き | どれでも |
| 冷却方法 | 水 |
| 重量(kg)(コントローラー含む) | 51 |
アプリケーション:
シリーズ磁気浮上分子ポンプは、主に半導体製造、クリップ製造、工業用メッキ、科学機器の分野に応用されており、特にエッチング、CVD、PVD、イオン注入中に存在する腐食性ガスや常温で凝集しやすいガスの抽出に使用されています。
