À bord de la pompe à vide turbomoleculaire industrielle 1401l/S
Pompe Maglev , CXF-200/1401 , Refroidissement par eau , À bord Le roulement électromagnétique est également appelé « ours à sustentation magnétique active », composé d'un roulement magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception présente une réponse dynamique et un réglage ...
Pompes à vide turbomoleculaire 1401l/S
,Pompes à vide turbomoleculaires industrielles
Pompe Maglev , CXF-200/1401 , Refroidissement par eau , À bord
Le roulement électromagnétique est également appelé « ours à sustentation magnétique active », composé d'un roulement magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception présente une réponse dynamique et un réglage rapide, un arbre à grande vitesse et un fonctionnement fiable.
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l'arbre est soutenu en vertu de la force magnétique.
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, du placage industriel et des instruments scientifiques.
Les avantages :
1. Zéro friction pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie
2. Facile à acquérir un vide poussé et un vide ultra poussé vraiment propres sans lubrification pour les pompes
3. Capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme
4. Haute sécurité et longue durée de vie grâce à la protection des roulements avec des billes en céramique de précision
5. fonction de production d'énergie en cas de mise hors tension soudaine
Caractéristiques:
| Modèle | CXF-200/1401 |
| Vitesse de la pompe (l/s, Air) | 1400 |
| Taux de compression | >1×107 |
| Vide ultime (Pa) | ≤2×10-6 |
| Bride d'entrée | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISOF | |
| DN200 ISO CF | |
| Bride de sortie | 40 KF |
| Vitesse de rotation (tr/min) | 33000 |
| Temps de démarrage (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Pompe de support (L/s) | 15 |
| Montage ou orientation | N'importe lequel |
| Méthode de refroidissement | Eau |
| Poids (kg) (avec contrôleur) | 51 |
Applications :
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont principalement utilisées dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, du placage industriel et des instruments scientifiques, en particulier pour l'extraction des gaz corrosifs présents dans la gravure, le CVD, le PVD et l'implantation ionique et les gaz facilement coagulés à température normale.
