Trên tàu 1401l/S bơm chân không turbomolecular công nghiệp
Bơm Maglev, CXF-200/1401, Làm mát bằng nước, Trên tàu Ổ trục điện từ còn được gọi là “gấu bay từ tính chủ động”, bao gồm ổ trục từ tính, cảm biến và hệ thống điều khiển. Thiết kế này có phản ứng động và điều chỉnh kịp thời, trục tốc độ cao và hoạt động đáng tin cậy. Máy bơm phân tử được nâng lên b...
Máy bơm chân không turbomolecular 1401l/s
,Máy bơm chân không phân tử công nghiệp
Bơm Maglev, CXF-200/1401, Làm mát bằng nước, Trên tàu
Ổ trục điện từ còn được gọi là “gấu bay từ tính chủ động”, bao gồm ổ trục từ tính, cảm biến và hệ thống điều khiển. Thiết kế này có phản ứng động và điều chỉnh kịp thời, trục tốc độ cao và hoạt động đáng tin cậy.
Máy bơm phân tử được nâng lên bằng từ tính là máy bơm có trục được hỗ trợ nhờ lực từ.
Dòng máy bơm phân tử được nâng bằng từ trường là thiết bị tạo chân không được KYKY phát triển để đáp ứng yêu cầu ứng dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đại, sản xuất chip, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học.
Những lợi thế:
1. Không ma sát trong quá trình vận hành và tiêu thụ điện năng thấp
2. Dễ dàng thu được chân không thực sự sạch và chân không siêu cao mà không cần bôi trơn cho máy bơm
3. Có khả năng hút khí ăn mòn lâu dài
4. Độ an toàn cao và tuổi thọ lâu dài nhờ bảo vệ vòng bi bằng bi gốm chính xác
5. Chức năng tạo điện trong trường hợp tắt nguồn đột ngột
Thông số kỹ thuật:
| Người mẫu | CXF-200/1401 |
| Tốc độ bơm (l/s,Không khí) | 1400 |
| Tỷ lệ nén | >1×107 |
| Chân không cuối cùng (Pa) | 2×10-6 |
| Mặt bích đầu vào | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| Mặt bích đầu ra | KF 40 |
| Tốc độ quay (vòng/phút) | 33000 |
| Thời gian chạy (phút) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Bơm lùi (L/s) | 15 |
| Gắn hoặc định vị | Bất kì |
| Phương pháp làm mát | Nước |
| Trọng lượng (kg) (Có bộ điều khiển) | 51 |
Ứng dụng:
Dòng máy bơm phân tử bay lên từ tính chủ yếu được áp dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất kẹp, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là để chiết các khí ăn mòn tồn tại trong etch, CVD, PVD và cấy ion và các khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường.
