На борту 1401l/S турбомолекулярный вакуумный насос Industrial

Насос Maglev , CXF-200/1401 , Водяное охлаждение , Бортовой

Электромагнитный подшипник также называют «активными магнитными левитирующими медведями», он состоит из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Данная конструкция отличается динамичным откликом и своевременной регулировкой, высокоскоростным валом и надежной работой.

Молекулярные насосы на магнитной подвеске — это насосы, валы которых поддерживаются за счет магнитной силы.

Серия молекулярных насосов на магнитной подвеске представляет собой оборудование для генерации вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства чипов, промышленного нанесения покрытий и научных приборов.

Преимущества:

1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление.

2. Легко получить действительно чистый высокий и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов.

3. Способен извлекать агрессивные газы в течение длительного времени.

4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников прецизионными керамическими шариками.

5. Функция генерации энергии в случае внезапного отключения питания

Технические характеристики:

Приложения:

Серийные молекулярные насосы с магнитной подвеской в ​​основном применяются в области производства полупроводников, производства зажимов, промышленного нанесения покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, а также газов, легко коагулируемых при нормальной температуре.