An Bord 1401l/S Turbomolekulare Vakuumpumpe Industrie
Magnetschwebebahnpumpe, CXF-200/1401, Wasserkühlung, an Bord Das elektromagnetische Lager wird auch „aktiver Magnetschwebebär“ genannt und besteht aus einem Magnetlager, einem Sensor und einem Steuerungssystem. Dieses Design zeichnet sich durch dynamische Reaktion und rechtzeitige Anpassung, ...
1401l/S Turbomolekulare Vakuumpumpe
,Industrielle Turbomolekulare Vakuumpumpe
Magnetschwebebahnpumpe, CXF-200/1401, Wasserkühlung, an Bord
Das elektromagnetische Lager wird auch „aktiver Magnetschwebebär“ genannt und besteht aus einem Magnetlager, einem Sensor und einem Steuerungssystem. Dieses Design zeichnet sich durch dynamische Reaktion und rechtzeitige Anpassung, Hochgeschwindigkeitswelle und zuverlässigen Betrieb aus.
Bei den magnetisch schwebenden Molekularpumpen handelt es sich um Pumpen, deren Welle durch magnetische Kraft unterstützt wird.
Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie sind Geräte zur Vakuumerzeugung, die von KYKY entwickelt wurden, um Anwendungsanforderungen in den Bereichen moderne Halbleiterfertigung, Chipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente zu erfüllen.
Die Vorteile:
1. Keine Reibung während des Betriebs und geringer Stromverbrauch
2. Einfach zu erreichendes wirklich sauberes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Schmierung für Pumpen
3. Kann korrosive Gase langfristig absaugen
4. Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Schutz der Lager mit Präzisionskeramikkugeln
5. Stromerzeugungsfunktion bei plötzlichem Ausschalten
Spezifikationen:
| Modell | CXF-200/1401 |
| Pumpengeschwindigkeit (l/s, Luft) | 1400 |
| Kompressionsverhältnis | >1×107 |
| Ultimatives Vakuum (Pa) | ≤2×10-6 |
| Einlassflansch | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| Auslassflansch | KF 40 |
| Drehzahl (U/min) | 33000 |
| Hochlaufzeit (min) | 6 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Vorvakuumpumpe (l/s) | 15 |
| Montage oder Ausrichtung | Beliebig |
| Kühlmethode | Wasser |
| Gewicht (kg) (mit Controller) | 51 |
Anwendungen:
Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Clipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zur Extraktion von korrosiven Gasen, die beim Ätzen, CVD, PVD und Ionenimplantation auftreten, sowie von Gasen, die bei normaler Temperatur leicht koaguliert werden.
