고 진공 변수 이온 펌프 편리한 작동 420L/S 공기 85L/S Ar
이온 펌프, 3L-400C, DN150CF, 420L/s 공기, 85L/s Ar, -5KV 스퍼터 이온 펌프는 깨끗한 초고진공을 얻기 위한 진공 발생 장치입니다. 이온 펌프는 연속 작동하는 배킹 펌프가 필요하지 않은 폐쇄형 시스템에서 작동합니다. 장점: 이 펌프 시리즈는 청결도, 고진공도, 소음 제로, 진동 제로, 작동 편의성 등의 장점을 가지고 있습니다. 신청: 스퍼터 이온 펌프는 오일리스 초고진공 세트의 메인 펌프로서 고에너지 입자가속기, 제어열핵반응장치, 전기진공장치, 반도체재료, 전자현미경 및 질량분석기 등 과학실험장치, 기...
420L/S 변동 이온 펌프
,편리한 동작 변동 이온 펌프
,고 진공 변수 이온 펌프
이온 펌프, 3L-400C, DN150CF, 420L/s 공기, 85L/s Ar, -5KV
스퍼터 이온 펌프는 깨끗한 초고진공을 얻기 위한 진공 발생 장치입니다. 이온 펌프는 연속 작동하는 배킹 펌프가 필요하지 않은 폐쇄형 시스템에서 작동합니다.
장점:
이 펌프 시리즈는 청결도, 고진공도, 소음 제로, 진동 제로, 작동 편의성 등의 장점을 가지고 있습니다.
신청:
스퍼터 이온 펌프는 오일리스 초고진공 세트의 메인 펌프로서 고에너지 입자가속기, 제어열핵반응장치, 전기진공장치, 반도체재료, 전자현미경 및 질량분석기 등 과학실험장치, 기타 초고진공을 요구하는 산업장비에 적용할 수 있다.
원칙:
양극의 재질은 스테인레스 스틸 배럴이고 음극의 재질은 이티타늄 판입니다. 페닝 방전 공정은 자기장과 전기장의 결합 작용으로 가스를 이온화하여 가스를 배출시킵니다.
불활성 가스의 펌핑 속도를 높이기 위해 3극관 이온 펌프가 개선되었습니다. 불활성 가스의 이온은 음극의 티타늄 그리드에 스침 입사를 받은 후 중화되고, 티타늄 필름에 묻히기 위해 펌프 벽과 양극에 반사됩니다. 양이온 충격으로 인해 펌프 벽에 묻힌 불활성 가스가 방출되지 않으므로 불활성 가스의 펌핑 속도가 증가합니다.
명세서:
| 모델 | 3L-400C | |||
| 플랜지 | DN150CF | |||
| 펌핑 속도(L/S) | ( 공기) | 420 | ||
| 펌핑 속도 | (아르) | 85 | ||
| 시동 압력(Pa) | ≤5×10-4 | |||
| 최종 압력(Pa) | 1×10-8 | |||
| (℃) 굽는 온도 | <200 | |||
| 자석으로 | ||||
| 자석 없이 | <300 | |||
| 작동 전압(KV) | -5 | |||
| 전극 유닛 | 4 | |||
| 치수(mm) | 200×140(4-M12) | |||
| 길이*세로*높이(mm) | 500×265×600 | |||
| (kg) 체중 | 153 | |||
