Máy bơm ion biến thể chân không cao hoạt động thuận tiện 420L/S Không khí 85L/S Ar

Bơm ion, 3L-400C, DN150CF, Không khí 420L/s, 85L/s Ar, -5KV

Bơm phún xạ ion là thiết bị tạo chân không để thu được chân không sạch và cực cao. Bơm ion hoạt động trong một hệ thống khép kín không cần bơm hỗ trợ làm việc liên tục.

Thuận lợi:

Dòng máy bơm này có những ưu điểm như sạch sẽ, độ chân không cao, không tiếng ồn, không rung và thuận tiện khi vận hành.

Ứng dụng:

Bơm phún xạ ion là máy bơm chính của bộ chân không cực cao ít dầu và có thể được áp dụng cho các thiết bị thí nghiệm khoa học như máy gia tốc hạt năng lượng cao, thiết bị phản ứng nhiệt hạch có điều khiển, thiết bị chân không điện, vật liệu bán dẫn, kính hiển vi điện tử và máy quang phổ khối, cũng như các thiết bị công nghiệp khác yêu cầu chân không cực cao.

Nguyên tắc:

Vật liệu của cực dương là thùng thép không gỉ và vật liệu của tấm istitanium cực âm. Quá trình phóng điện của Penning làm ion hóa khí dưới tác động chung của từ trường và điện trường, do đó làm cạn kiệt khí.

Bơm ion triode được cải tiến để tăng tốc độ bơm khí trơ; Các ion khí trơ được đưa tới lưới titan của cực âm, sau đó được trung hòa và phản xạ về thành bơm và cực dương để được chôn cùng với màng titan. Vì khí trơ được chôn trong thành bơm sẽ không được giải phóng do bắn phá ion dương nên tốc độ bơm khí trơ sẽ tăng lên.

Thông số kỹ thuật: