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商品の詳細:
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| フランジ: | DC150CF | 排気速度: | 420L/s 空気 |
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| 到達圧力: | 1E-8Pa | 電圧: | -5KV |
| ハイライト: | バリアンイオンポンプ,スターセルイオンポンプ |
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イオンポンプ , 3L-400C , DN150CF , 420L/s エア , 85L/s Ar , -5KV
スパッタイオンポンプは、クリーンな超高真空を得るための真空発生装置です。イオンポンプは密閉系で動作するため、補助ポンプを連続稼働する必要がありません。
利点:
このシリーズのポンプは、クリーン、高真空度、ゼロ騒音、ゼロ振動、操作の容易さなどの利点を備えています。
アプリケーション:
スパッタイオンポンプはオイルレス超高真空セットのメインポンプであり、高エネルギー粒子加速器、制御熱核反応装置、電気真空装置、半導体材料、電子顕微鏡、質量分析計などの科学実験装置、その他超高真空を必要とする産業機器に応用できます。
原理：
陽極の材質はステンレスバレル、陰極の材質はチタンプレートです。ペニング放電プロセスは、磁界と電界の共同作用によりガスをイオン化し、ガスの排出を実現します。
三極イオンポンプは、不活性ガスのポンピング速度を高めるために改良されました。不活性ガスのイオンはカソードのチタングリッドにかすめ入射し、その後中和され、ポンプ壁とアノードに反射されてチタン膜に埋められます。陽イオン衝撃によりポンプ壁面に埋もれた不活性ガスが放出されないため、不活性ガスの排気速度が向上します。
仕様:
| モデル | 3L-400C | |||
| フランジ | DN150CF | |||
| 排気速度(L/S) | （ 空気） | 420 | ||
| 排気速度 | (アル) | 85 | ||
| 起動圧力(Pa) | ≤5×10-4 | |||
| 到達圧力(Pa) | 1×10-8 | |||
| (℃)焼成温度 | ＜200 | |||
| 磁気付き | ||||
| 磁気なし | ＜300 | |||
| 動作電圧(KV) | -5 | |||
| 電極ユニット | 4 | |||
| 寸法(mm) | 200×140(4-M12) | |||
| 長さ*幅*高さ (mm) | 500×265×600 | |||
| (kg) 重量 | 153 | |||
コンタクトパーソン: Mr. Shawn Liu
電話番号: 86-10-82548271
ファックス: 86-010-62564613
