Yüksek Vakumlu Varian İyon Pompası Rahat Çalışma 420L/S Hava 85L/S Ar

İyon Pompası, 3L-400C, DN150CF, 420L/s Hava, 85L/s Ar, -5KV

Püskürtme iyon pompası, temiz ve ultra yüksek vakum elde etmek için vakum üretim ekipmanıdır. İyon pompası, sürekli çalışan destek pompası gerektirmeyen kapalı bir sistemde çalışır.

Avantajları:

Bu seri pompaların temizlik, yüksek vakum derecesi, sıfır gürültü, sıfır titreşim ve kullanım kolaylığı gibi avantajları vardır.

Uygulamalar:

Püskürtme iyon pompası, yağsız ultra yüksek vakum setinin ana pompasıdır ve yüksek enerjili parçacık hızlandırıcı, kontrollü termonükleer reaksiyon aparatı, elektrikli vakum cihazı, yarı iletken malzeme, elektronik mikroskop ve kütle spektrometresi gibi bilimsel deney aparatlarına ve ultra yüksek vakum gerektiren diğer endüstriyel ekipmanlara uygulanabilir.

İlke:

Anot malzemesi paslanmaz çelik gövde, katot malzemesi ise istitanyum plakadır. Penning deşarj işlemi, manyetik alan ve elektrik alanın ortak etkisi altında gazı iyonize ederek gazın egzozunu gerçekleştirir.

İnert gazın pompalama hızını artırmak için triyot iyon pompası geliştirildi; İnert gaz iyonları, katodun titanyum ızgarasına sıyırma etkisine tabi tutulur, daha sonra nötralize edilir ve titanyum film ile gömülmek üzere pompa duvarına ve anoda yansıtılır. Pozitif iyon bombardımanı nedeniyle pompa duvarına gömülü inert gaz salınmayacağından inert gazın pompalama hızı artar.

Özellikler: