Waterkoeling turbomoleculaire pomp / magnetisch zwevende pomp aan boord van controller

Maglevpomp , CXF-320/3001E , Waterkoeling , ISO-F , Aan boord

Het elektromagnetische lager wordt ook wel “actieve magnetische zwevende beren” genoemd, bestaande uit een magnetisch lager, een sensor en een besturingssysteem. Dit ontwerp heeft een dynamische respons en tijdige aanpassing, hoge snelheid en betrouwbare werking.

De magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn de pompen waarvan de as wordt ondersteund door magnetische kracht.

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn apparatuur voor het genereren van vacuüm, ontwikkeld door KYKY om te voldoen aan toepassingsvereisten op het gebied van moderne halfgeleiderproductie, chipproductie, industriële platering en wetenschappelijke instrumenten.

Voordelen:

1. Geen wrijving tijdens gebruik en laag stroomverbruik

2. Gemakkelijk om echt schoon hoogvacuüm en ultrahoogvacuüm te verkrijgen zonder smering voor pompen

3. Geschikt om corrosieve gassen voor lange termijn te extraheren

4. Hoge veiligheid en lange levensduur door lagerbescherming met keramische precisiekogels

5. energieopwekkingsfunctie in geval van plotselinge uitschakeling

6. Vrij van wrijving

7. Vrij van vervuiling

8. Onderhoudsvrij

9. Lage trillingen

10. geïnstalleerd in elke richting.

Toepassingen:

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen worden voornamelijk toegepast op het gebied van de productie van halfgeleiders, clips, industriële platering en wetenschappelijke instrumenten, vooral voor de extractie van corrosieve gassen die voorkomen bij ets-, CVD-, PVD- en ionenimplantatie en gassen die gemakkelijk worden gecoaguleerd bij normale temperatuur.

Specificaties:

Technologieën:

• Besturingstechnologie voor magnetisch lager:een magnetisch zweefsysteem met 5 assen, gebaseerd op geavanceerde internationale controletheorie, om zulke significante voordelen van de hogesnelheidsschacht te garanderen als een stabiele zwevende en betrouwbare werking.
• Motoraandrijfbesturingstechnologie:Hoogrenderende, snelle DC-motor en servobesturingssysteem, met maximale energie van de motor en om de rotatiesnelheid van de as automatisch te compenseren, waardoor een stabiele start, betrouwbare werking en automatische regelfunctie van dynamische energie worden gerealiseerd.
• Koolstofvezelcomposietrotortechnologie:Gemaakt door een combinatie van een zeer sterke aluminiumlegering en lichtgewicht koolstofvezel. gekenmerkt door een grote gewichtsvermindering en een grote verbetering van de sterkte, zodat doelen met een hoge rotatiesnelheid, hoge prestaties en hoge betrouwbaarheid worden bereikt.
• Corrosiebestendige technologie:Oppervlakken van onderdelen in kamers worden behandeld met een speciaal proces, zodat de oppervlakken lange tijd bestand zijn tegen corrosie veroorzaakt door corrosieve gassen in halfgeleiderproductieprocessen. Bovendien worden inerte gassen zoals N2 volledig gevuld in de schachten van de pompen om de laagvacuümdelen in de pompen te beschermen, zodat de functie van het stabiel afvoeren van corrosieve gassen gedurende lange perioden wordt gerealiseerd.
• Verwarmingstemperatuurregelsysteem:uitgerust met een elektrische verwarmer en een temperatuurregelaar, koelwater, lucht-botverwarming, elektrische verwarming en warmte gedragen door beschermende gassen kunnen tijdens bedrijf worden bewaakt en gecontroleerd, de temperatuur in de pompen kan voor lange termijn op een bepaalde waarde worden gehouden, sommige gasvormige stoffen worden bij normale temperatuur niet omgezet in vaste stoffen en worden niet in de pompen afgezet, en er kan aan de vereisten voor speciale processen zoals etsen worden voldaan.