ปั๊มระบายน้ําระบายน้ํา / ปั๊มระบายน้ําระบายน้ําระบายน้ํา
ปั๊มแม็กเลฟ , CXF-320/3001E , ระบายความร้อนด้วยน้ำ , ISO-F , ออนบอร์ด แบริ่งแม่เหล็กไฟฟ้าเรียกอีกอย่างว่า "หมีลอยแม่เหล็กแบบแอคทีฟ" ซึ่งประกอบด้วยแบริ่งแม่เหล็ก เซ็นเซอร์ และระบบควบคุม การออกแบบนี้มีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับให้ทันเวลา การใช้เพลาความเร็วสูงและการทำงานที่เชื่อถือได้ ปั๊มโมเลกุลที...
ปั๊มน้ําเย็น Turbomolecular
,ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลที่กระจายด้วยแม่เหล็ก
,บนเครื่องควบคุม ปั๊ม Turbomolecular
ปั๊มแม็กเลฟ , CXF-320/3001E , ระบายความร้อนด้วยน้ำ , ISO-F , ออนบอร์ด
แบริ่งแม่เหล็กไฟฟ้าเรียกอีกอย่างว่า "หมีลอยแม่เหล็กแบบแอคทีฟ" ซึ่งประกอบด้วยแบริ่งแม่เหล็ก เซ็นเซอร์ และระบบควบคุม การออกแบบนี้มีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับให้ทันเวลา การใช้เพลาความเร็วสูงและการทำงานที่เชื่อถือได้
ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่รองรับเพลาโดยอาศัยแรงแม่เหล็ก
ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์เป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อตอบสนองข้อกำหนดการใช้งานในด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ การผลิตชิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์
ข้อดี:
1. ไม่มีแรงเสียดทานระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ
2. ง่ายต่อการรับสุญญากาศสูงและสุญญากาศสูงพิเศษที่สะอาดอย่างแท้จริงโดยไม่ต้องหล่อลื่นปั๊ม
3. สามารถสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ในระยะยาว
4. ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากการปกป้องตลับลูกปืนด้วยลูกเซรามิกที่มีความแม่นยำ
5. ฟังก์ชั่นสร้างพลังงานในกรณีที่ไฟฟ้าดับกะทันหัน
6. ปราศจากแรงเสียดทาน
7. ปราศจากมลภาวะ
8. ไม่มีการบำรุงรักษา
9. การสั่นสะเทือนต่ำ
10.ติดตั้งในทิศทางใดก็ได้
การใช้งาน:
ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ส่วนใหญ่นำไปใช้กับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัดกรด CVD PVD และการฝังไอออน และก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ
ข้อมูลจำเพาะ:
| แบบอย่าง | CXF-320/3001 |
| ความเร็วปั๊ม(ลิตร/วินาที,อากาศ) | 3200 |
| อัตราส่วนกำลังอัด | >1×108 |
| สุดยอดสุญญากาศ(Pa) | ≤5×10-7 |
| หน้าแปลนขาเข้า | ISO-F 320 |
| หน้าแปลนทางออก | เคเอฟ 40 |
| ความเร็วในการหมุน(รอบต่อนาที) | 24000 |
| เวลารันอัพ (นาที) | 12 |
| ไวบี (มม.) | <0.05 |
| ปั๊มสำรอง (ลิตร/วินาที) | 15 |
| การติดตั้งหรือการติดตั้ง | ใดๆ |
| วิธีการทำความเย็น | น้ำ |
| น้ำหนัก (กก.) (พร้อมตัวควบคุม) | 75 |
เทคโนโลยี:
- เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก:แกนลอยด้วยแม่เหล็ก 5 แกน ตามทฤษฎีการควบคุมระหว่างประเทศขั้นสูง เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญของการเพลาความเร็วสูง เช่น การทำงานลอยได้อย่างมั่นคงและเชื่อถือได้
- เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์:มอเตอร์กระแสตรงความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวประสิทธิภาพสูง มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้สตาร์ทเครื่องได้อย่างเสถียร การทำงานที่เชื่อถือได้ และฟังก์ชันควบคุมอัตโนมัติของพลังงานไดนามิก
- เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์:ผลิตจากการผสมอลูมิเนียมอัลลอยด์ที่มีความแข็งแรงสูงเข้ากับคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา โดดเด่นด้วยการลดน้ำหนักได้อย่างมากและการปรับปรุงความแข็งแกร่งอย่างมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
- เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน:พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องเพาะเลี้ยงได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษเพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานาน นอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อย เช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสุญญากาศต่ำในปั๊ม ดังนั้นจึงตระหนักถึงการทำงานของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่ระบายออกอย่างเสถียรเป็นเวลานาน
- ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน:สามารถติดตั้งเครื่องทำความร้อนไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ น้ำหล่อเย็น การทำความร้อนด้วยอากาศกระดูก เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า และความร้อนที่พาโดยก๊าซป้องกันสามารถตรวจสอบและควบคุมได้ในระหว่างการใช้งาน สามารถรักษาอุณหภูมิในปั๊มไว้ที่ค่าใดค่าหนึ่งในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่ถูกแปลงเป็นสารของแข็งที่อุณหภูมิปกติและจะไม่สะสมอยู่ในปั๊ม และสามารถตอบสนองข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษ เช่น การแกะสลักได้
