Su Soğutma Turbomoleküler Pompa / Magnetically Levitated Pump On Board Controller
Maglev Pompası, CXF-320/3001E, Su soğutma, ISO-F, Yerleşik Manyetik yatak, sensör ve kontrol sisteminden oluşan elektromanyetik yatağa “aktif manyetik kaldırılmış ayılar” da denir. Bu tasarım, dinamik tepkiye ve zamanında ayarlamaya, yüksek hızlı şaftlamaya ve güvenilir çalışmaya sahiptir. Manyetik ...
Su Soğutma Turbomoleküler Pompa
,Manyetik olarak Levitasyon Turbomoleküler Pompa
,Yüklü Kontrolör Turbomoleküler Pompa
Maglev Pompası, CXF-320/3001E, Su soğutma, ISO-F, Yerleşik
Manyetik yatak, sensör ve kontrol sisteminden oluşan elektromanyetik yatağa “aktif manyetik kaldırılmış ayılar” da denir. Bu tasarım, dinamik tepkiye ve zamanında ayarlamaya, yüksek hızlı şaftlamaya ve güvenilir çalışmaya sahiptir.
Manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar, şaftı manyetik kuvvet sayesinde desteklenen pompalardır.
Seri manyetik olarak kaldırılan moleküler pompalar, modern yarı iletken üretimi, çip üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel aletler alanlarındaki uygulama gereksinimlerini karşılamak üzere KYKY tarafından geliştirilen vakum üretim ekipmanıdır.
Avantajları:
1. Çalışma sırasında sıfır sürtünme ve düşük güç tüketimi
2. Pompalar için yağlama gerektirmeden gerçekten temiz, yüksek vakum ve ultra yüksek vakum elde etmek kolaydır
3. Aşındırıcı gazları uzun süre çıkarabilme özelliği
4. Rulmanların hassas seramik bilyalarla korunması sayesinde yüksek güvenlik ve uzun servis ömrü
5. Ani kapanma durumunda güç üretme fonksiyonu
6. Sürtünmesiz
7. Kirlilik içermez
8. Bakım gerektirmez
9. Düşük titreşim
10. herhangi bir yönde monte edilir.
Uygulamalar:
Seri manyetik olarak havaya kaldırılan moleküler pompalar esas olarak yarı iletken imalatı, klips imalatı, endüstriyel kaplama ve bilimsel aletler alanlarına, özellikle de aşındırma, CVD, PVD ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların ve normal sıcaklıkta kolayca pıhtılaşan gazların çıkarılması için uygulanır.
Özellikler:
| Modeli | CXF-320/3001 |
| Pompa Hızı(l/s,Hava) | 3200 |
| Sıkıştırma Oranı | >1×108 |
| Nihai Vakum(Pa) | ≤5×10-7 |
| Giriş Flanşı | ISO-F320 |
| Çıkış Flanşı | KF40 |
| Dönme Hızı (rpm) | 24000 |
| Çalıştırma Süresi (dak) | 12 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Destek Pompası (L/s) | 15 |
| Montaj veya yönlendirme | Herhangi |
| Soğutma yöntemi | su |
| Ağırlık(kg)(Kontrol Cihazıyla) | 75 |
Teknolojiler:
- Manyetik Rulman için Kontrol Teknolojisi:Yüksek hızlı şaftlamanın stabil kaldırma ve güvenilir çalışma gibi önemli avantajlarını garanti etmek için gelişmiş uluslararası kontrol teorisine dayanan 5 eksenli manyetik olarak kaldırılmıştır.
- Motor Sürücü Kontrol Teknolojisi:Motorun maksimum enerjisine sahip olan ve şaftın dönme hızını otomatik olarak telafi eden yüksek verimli, yüksek hızlı DC motor ve servo kontrol sistemi, böylece kararlı başlatma, güvenilir çalışma ve dinamik enerjinin otomatik düzenleme fonksiyonunu gerçekleştirir.
- Karbon fiber kompozit rotor teknolojisi:Yüksek mukavemetli alüminyum alaşımı ve hafif karbon fiberin birleşiminden yapılmıştır. Ağırlığın büyük ölçüde azaltılması ve mukavemetin büyük ölçüde iyileştirilmesi ile karakterize edilir, böylece yüksek dönme hızı, yüksek performans ve yüksek güvenilirlik hedeflerine ulaşılır.
- Korozyona dayanıklı teknoloji:Haznelerdeki parçaların yüzeyleri özel işlemden geçirilir, böylece yüzeyler yarı iletken üretim proseslerinde korozif gazların neden olduğu korozyona uzun süre dayanabilir. Ayrıca pompalardaki düşük vakumlu kısımları korumak için pompaların şaftına N2 gibi inert gazlar tam olarak doldurulmakta, böylece korozif gazların uzun süre stabil olarak dışarı atılması işlevi gerçekleştirilmektedir.
- Isıtma sıcaklık kontrol sistemi:elektrikli ısıtıcı ve sıcaklık kontrol cihazı ile donatılmış, soğutma suyu, hava-kemik ısıtması, elektrikli ısıtma ve koruyucu gazların taşıdığı ısı, çalışma esnasında izlenebilmekte ve kontrol edilebilmekte, pompalardaki sıcaklık uzun süre belli bir değerde tutulabilmekte, bazı gaz halindeki maddeler normal sıcaklıkta katı maddelere dönüşerek pompalarda birikmemekte, aşındırma gibi özel işlem gereksinimleri karşılanabilmektedir.
