Pompy turbomolekularne chłodzące wodą / magnetycznie lewityzowane pompy na pokładzie

Pompa Maglev , CXF-320/3001E , Chłodzenie wodne , ISO-F , Na pokładzie

Łożysko elektromagnetyczne, zwane także „aktywnymi lewitującymi niedźwiedziami magnetycznymi”, składa się z łożyska magnetycznego, czujnika i układu sterującego. Konstrukcja ta charakteryzuje się dynamiczną reakcją i terminową regulacją, szybkim wałem i niezawodną pracą.

Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest podtrzymywany siłą magnetyczną.

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych to urządzenia do wytwarzania próżni opracowane przez KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, powlekania przemysłowego i instrumentów naukowych.

Zalety:

1. Zero tarcia podczas pracy i niskie zużycie energii

2. Łatwe uzyskanie naprawdę czystej wysokiej i bardzo wysokiej próżni bez smarowania pomp

3. Możliwość długotrwałego usuwania gazów korozyjnych

4. Wysokie bezpieczeństwo i długa żywotność dzięki ochronie łożysk precyzyjnymi kulkami ceramicznymi

5. funkcja wytwarzania energii w przypadku nagłego wyłączenia zasilania

6. Bez tarcia

7. Wolny od zanieczyszczeń

8. Bezobsługowy

9. Niskie wibracje

10. zainstalowany w dowolnej orientacji.

Aplikacje:

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji zacisków, powlekania przemysłowego i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących podczas trawienia, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.

Dane techniczne:

Technologie:

• Technologia sterowania łożyskiem magnetycznym:5-osiowy lewitowany magnetycznie, oparty na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, aby zagwarantować tak znaczące zalety szybkiego wałowania, jak stabilna lewitacja i niezawodna praca.
• Technologia sterowania napędem silnikowym:Wysokowydajny, szybki silnik prądu stałego i układ sterowania serwomechanizmem, zapewniający maksymalną energię silnika i automatycznie kompensujący prędkość obrotową wałów, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodne działanie i funkcję automatycznej regulacji energii dynamicznej.
• Technologia wirnika z kompozytu włókna węglowego:Wykonane przez połączenie stopu aluminium o wysokiej wytrzymałości i lekkiego włókna węglowego. charakteryzuje się dużą redukcją masy i znaczną poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele w postaci dużej prędkości obrotowej, wysokiej wydajności i wysokiej niezawodności.
• Technologia odporna na korozję:Powierzchnie części w komorach poddawane są specjalnemu procesowi, dzięki czemu powierzchnie przez długi czas są odporne na korozję powodowaną przez żrące gazy w procesach produkcji półprzewodników. Ponadto gazy obojętne, takie jak N2, są całkowicie wypełnione wałami pomp, aby chronić części pomp o niskim podciśnieniu, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego usuwania gazów korozyjnych przez długi czas.
• System kontroli temperatury ogrzewania:wyposażone w grzałkę elektryczną i regulator temperatury, wodę chłodzącą, ogrzewanie powietrzno-kostne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompach może być utrzymywana na pewnym poziomie przez długi czas, niektóre substancje gazowe nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a także można spełnić wymagania specjalnego procesu, takiego jak trawienie.