Wasserkühlung Turbomolekulare Pumpe / Magnetisch levitisierte Pumpe An Bord Controller

Magnetschwebebahnpumpe, CXF-320/3001E, Wasserkühlung, ISO-F, an Bord

Das elektromagnetische Lager wird auch „aktiver Magnetschwebebär“ genannt und besteht aus einem Magnetlager, einem Sensor und einem Steuerungssystem. Dieses Design zeichnet sich durch dynamische Reaktion und rechtzeitige Anpassung, Hochgeschwindigkeitswelle und zuverlässigen Betrieb aus.

Bei den magnetisch schwebenden Molekularpumpen handelt es sich um Pumpen, deren Welle durch magnetische Kraft unterstützt wird.

Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie sind Geräte zur Vakuumerzeugung, die von KYKY entwickelt wurden, um Anwendungsanforderungen in den Bereichen moderne Halbleiterfertigung, Chipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente zu erfüllen.

Vorteile:

1. Keine Reibung während des Betriebs und geringer Stromverbrauch

2. Einfach zu erreichendes wirklich sauberes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Schmierung für Pumpen

3. Kann korrosive Gase langfristig absaugen

4. Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Schutz der Lager mit Präzisionskeramikkugeln

5. Stromerzeugungsfunktion bei plötzlichem Ausschalten

6. Reibungsfrei

7. Frei von Verschmutzung

8. Wartungsfrei

9. Geringe Vibration

10. In beliebiger Ausrichtung installiert.

Anwendungen:

Magnetisch schwebende Molekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Clipherstellung, industrielle Beschichtung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zur Extraktion von korrosiven Gasen, die beim Ätzen, CVD, PVD und Ionenimplantation auftreten, sowie von Gasen, die bei normaler Temperatur leicht koaguliert werden.

Spezifikationen:

Technologien:

• Steuerungstechnik für Magnetlager:eine 5-Achsen-Magnetschwebevorrichtung, die auf der fortschrittlichen internationalen Steuerungstheorie basiert und so bedeutende Vorteile der Hochgeschwindigkeitswelle wie stabile Schwebebewegung und zuverlässigen Betrieb gewährleistet.
• Motorantriebssteuerungstechnik:Hocheffizientes Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor- und Servosteuerungssystem mit maximaler Motorenergie und automatischer Kompensation der Drehzahl der Welle, wodurch ein stabiler Start, ein zuverlässiger Betrieb und eine automatische Regulierungsfunktion der dynamischen Energie realisiert werden.
• Rotortechnologie aus Kohlefaserverbundwerkstoff:Hergestellt durch die Verbindung einer hochfesten Aluminiumlegierung und einer leichten Kohlefaser. zeichnet sich durch eine große Gewichtsreduzierung und eine große Verbesserung der Festigkeit aus, so dass Ziele wie hohe Drehzahl, hohe Leistung und hohe Zuverlässigkeit erreicht werden.
• Korrosionsbeständige Technologie:Die Oberflächen der Teile in den Kammern werden mit einem speziellen Verfahren behandelt, sodass die Oberflächen der Korrosion durch korrosive Gase in Halbleiterfertigungsprozessen lange Zeit widerstehen können. Darüber hinaus sind die Wellen der Pumpen vollständig mit Inertgasen wie N2 gefüllt, um die Niedervakuumteile in den Pumpen zu schützen, so dass die Funktion der stabilen Absaugung korrosiver Gase über lange Zeiträume gewährleistet ist.
• Heizungstemperaturregelsystem:Ausgestattet mit einer elektrischen Heizung und einem Temperaturregler können Kühlwasser, Luft-Knochen-Heizung, elektrische Heizung und die von Schutzgasen transportierte Wärme während des Betriebs überwacht und gesteuert werden, die Temperatur in den Pumpen kann langfristig auf einem bestimmten Wert gehalten werden, einige gasförmige Substanzen werden bei normaler Temperatur nicht in feste Substanzen umgewandelt und lagern sich nicht in den Pumpen ab, und Anforderungen für spezielle Prozesse wie das Ätzen können erfüllt werden.