표면 분석을 위한 산업 터보 펌프장 DN100 CF/ISO-K 약간 기름 오염
펌프 스테이션 FJ-110, RVP-4 및 ZDF-11A2를 사용한 공냉식 FJ-110Sandard Turbo Molecular Pump Unit은 고진공을 얻기 위한 세척 장비입니다.이러한 장비는 진공의 원리를 이용한 진공 획득 시스템으로 기계식 펌프와 분자펌프로 구성된다. 빠른 시동, 고진공, 적은 오일 오염, 쉬운 작동 등이 특징이며 표면 분석, 가속기 기술, 플라즈마 기술, 전기 진공 장치 제조 및 기타 진공 분야에서 널리 사용됩니다. 장비는 비표준 프레임, 기계식 펌프 및 파이프라인, 전기 제어 시스템, 물로 특별히 구성됩...
DN100 산업용 터보 펌프 스테이션
,표면 분석 산업 터보 펌프 스테이션
펌프 스테이션 FJ-110, RVP-4 및 ZDF-11A2를 사용한 공냉식
FJ-110Sandard Turbo Molecular Pump Unit은 고진공을 얻기 위한 세척 장비입니다.
이러한 장비는 진공의 원리를 이용한 진공 획득 시스템으로 기계식 펌프와 분자펌프로 구성된다. 빠른 시동, 고진공, 적은 오일 오염, 쉬운 작동 등이 특징이며 표면 분석, 가속기 기술, 플라즈마 기술, 전기 진공 장치 제조 및 기타 진공 분야에서 널리 사용됩니다. 장비는 비표준 프레임, 기계식 펌프 및 파이프라인, 전기 제어 시스템, 물로 특별히 구성됩니다. 냉각 보호 제어 등
주요 매개변수:
최대 진공(무부하): ≤ 9×10-5Pa
진공 시스템의 누출율: ≤ 5×10-9Pa·M3/S
전원 전압: 220V±10/50Hz
냉각 방식: 공랭식(주위 온도 25℃ 이하)
장비 활용을 위한 주변 온도: 5-40℃
장비 활용을 위한 주변 습도: ≤ 80%
구성:
| 이름 | 숫자 |
| F-100/110 분자펌프 및 전원공급장치(CF) | 1 |
| RVP-4 배압 펌프 | 1 |
| 제어 전원 | 1 |
| 액자 | 1 |
| CF100/ CF35/CF35 전환 챔버 | 1 |
| CD-35F 수동 차단 밸브 | 1 |
| ZDF-11A2 조합 진공 게이지 | 1 |
| 기타 첨부 파일 |
명세서:
|
|
단위 | FJ-110 |
| 플랜지(인) | DN100CF | |
| DN100 ISO-K | ||
| 플랜지(아웃) | ISO-KF | DN25 |
| 펌핑 속도 | l/초 | N2:110 |
| 그:100 | ||
| 시간2:50 | ||
| Ar:100 | ||
| 압축비 | N2:108 | |
| 그는:102 | ||
| 시간2:102 | ||
| 아르:108 | ||
| 궁극의 압력 | 아빠 | CF:6×10-7 |
| ISO-K:6×10-6 | ||
| 권장 전진공압력 | 아빠 | 100 |
| 전진공 펌프 | RVD-4(기본값) | |
| 냉각 유형, 표준 | 공기 | |
| 냉각수 소비 | L/분 | >1 |
| 냉각수 온도 | ℃ | ≤25 |
| 입력 전압/주파수 | V/Hz | 220±22/50 |
| 환경온도(℃) | ||
| 공기 냉각 | 5℃~32℃ | |
| 장착 위치 | 수직의 | |
| 컨트롤러 모델 | FD-110B | |
| 길이*세로*높이 | mm | 500×510×840 |
| 무게 | kg | 52 |
