Przemysłowa stacja pomp turbo DN100 CF/ISO-K Niewiele zanieczyszczeń olejowych do analizy powierzchni
Stacja pomp FJ-110, Chłodzenie powietrzem za pomocą RVP-4 i ZDF-11A2 FJ-110Sandard Turbo Molecular Pump Unit to urządzenie czyszczące umożliwiające uzyskanie wysokiej próżni.Sprzęt taki to system uzyskiwania próżni wykorzystujący zasadę próżni i składający się z pompy mechanicznej i pompy molekularn...
DN100 Przemysłowa stacja turbopompowa
,Analiza powierzchniowa Przemysłowa stacja turbopompowa
Stacja pomp FJ-110, Chłodzenie powietrzem za pomocą RVP-4 i ZDF-11A2
FJ-110Sandard Turbo Molecular Pump Unit to urządzenie czyszczące umożliwiające uzyskanie wysokiej próżni.
Sprzęt taki to system uzyskiwania próżni wykorzystujący zasadę próżni i składający się z pompy mechanicznej i pompy molekularnej. Charakteryzuje się szybkim rozruchem, wysoką próżnią, niewielkim zanieczyszczeniem olejem, łatwą obsługą itp. i jest szeroko stosowany w dziedzinie analizy powierzchni, technologii akceleratorów, technologii plazmowej, produkcji elektrycznych urządzeń próżniowych i innych obszarach próżni. Sprzęt składa się w szczególności z niestandardowej ramy, pompy mechanicznej i rurociągów, elektrycznych systemów sterowania i wody kontrola ochrony chłodzenia itp
Główne parametry:
Próżnia końcowa (bez obciążenia): ≤ 9×10-5Pa
Stopień nieszczelności układu próżniowego: ≤ 5×10-9Pa·M3/S
Napięcie zasilania:220V±10/50Hz
Metoda chłodzenia: chłodzenie powietrzem (temperatura otoczenia ≤ 25 ℃)
Temperatura otoczenia podczas użytkowania sprzętu: 5-40 ℃
Wilgotność otoczenia podczas użytkowania sprzętu: ≤ 80%
Konfiguracja:
| Nazwa | Numer |
| Pompa molekularna F-100/110 i zasilacz (CF) | 1 |
| Pompa wspomagająca RVP-4 | 1 |
| Sterowanie zasilaniem | 1 |
| Rama | 1 |
| Komora przejściowa CF100/CF35/CF35 | 1 |
| Ręczny zawór odcinający CD-35F | 1 |
| Wakuometr kombinowany ZDF-11A2 | 1 |
| Inne załączniki |
Dane techniczne:
|
|
Jednostka | FJ-110 |
| Kołnierz (w) | DN100CF | |
| DN100 ISO-K | ||
| Kołnierz (na zewnątrz) | ISO-KF | DN25 |
| Prędkość pompowania | l/s | N2:110 |
| On: 100 | ||
| H2:50 | ||
| Ar:100 | ||
| Współczynnik kompresji | N2:108 | |
| On: 102 | ||
| H2:102 | ||
| Ar:108 | ||
| Ostateczne ciśnienie | Rocznie | CF:6×10-7 |
| ISO-K:6×10-6 | ||
| zalecane ciśnienie próżni wstępnej | Rocznie | 100 |
| pompa próżniowa wstępna | RVD-4 (domyślnie) | |
| Typ chłodzenia, standardowy | Powietrze | |
| Zużycie wody chłodzącej | L/min | >1 |
| Temperatura wody chłodzącej | ℃ | ≤25 |
| Napięcie/częstotliwość wejściowa | V/Hz | 220±22/50 |
| Temperatura otoczenia (℃) | ||
| Chłodzenie powietrzem | 5 ℃-32 ℃ | |
| pozycja montażowa | Pionowy | |
| Model kontrolera | FD-110B | |
| L*W*H | mm | 500×510×840 |
| Waga | kg | 52 |
