Industrie-Turbopumpenstation DN100 CF/ISO-K Wenige Ölverschmutzung für die Oberflächenanalyse
Pumpstation FJ-110, Luftkühlung mit RVP-4 und ZDF-11A2 FJ-110Die Sandard Turbo Molecular Pump Unit ist ein Reinigungsgerät zur Erzielung eines Hochvakuums.Bei einer solchen Ausrüstung handelt es sich um ein Vakuumerzeugungssystem, das das Prinzip des Vakuums anwendet und aus einer mechanischen Pumpe ...
DN100 Industrie-Turbopumpenstation
,Oberflächenanalyse Industrie-Turbopumpenstation
Pumpstation FJ-110, Luftkühlung mit RVP-4 und ZDF-11A2
FJ-110Die Sandard Turbo Molecular Pump Unit ist ein Reinigungsgerät zur Erzielung eines Hochvakuums.
Bei einer solchen Ausrüstung handelt es sich um ein Vakuumerzeugungssystem, das das Prinzip des Vakuums anwendet und aus einer mechanischen Pumpe und einer Molekularpumpe besteht. Es zeichnet sich durch schnelles Starten, hohes Vakuum, geringe Ölverschmutzung, einfache Bedienung usw. aus und wird häufig in den Bereichen Oberflächenanalyse, Beschleunigertechnologie, Plasmatechnologie, Herstellung elektrischer Vakuumgeräte und anderen Vakuumbereichen eingesetzt. Die Ausrüstung besteht speziell aus einem nicht standardmäßigen Rahmen, einer mechanischen Pumpe und Rohrleitungen, elektrischen Steuerungssystemen und Wasser Kühlschutzsteuerung usw
Hauptparameter:
Endvakuum (ohne Last): ≤ 9×10-5Pa
Leckrate des Vakuumsystems: ≤ 5×10-9Pa·M3/S
Versorgungsspannung: 220 V ± 10/50 Hz
Kühlmethode: Luftkühlung (Umgebungstemperatur ≤ 25℃)
Umgebungstemperatur für die Gerätenutzung: 5–40 °C
Umgebungsfeuchtigkeit für Gerätenutzung: ≤ 80 %
Konfiguration:
| Name | Nummer |
| F-100/110 Molekularpumpe und Netzteil (CF) | 1 |
| RVP-4-Vorvakuumpumpe | 1 |
| Steuerstromversorgung | 1 |
| Rahmen | 1 |
| Übergangskammer CF100/CF35/CF35 | 1 |
| Manuelles Absperrventil CD-35F | 1 |
| Kombi-Vakuummeter ZDF-11A2 | 1 |
| Andere Anhänge |
Spezifikationen:
|
|
Einheit | FJ-110 |
| Flansch (Innen) | DN100CF | |
| DN100 ISO-K | ||
| Flansch (außen) | ISO-KF | DN25 |
| Pumpgeschwindigkeit | l/s | N2:110 |
| Er: 100 | ||
| H2:50 | ||
| Ar:100 | ||
| Kompressionsverhältnis | N2:108 | |
| Er:102 | ||
| H2:102 | ||
| Ar:108 | ||
| Ultimativer Druck | Pa | CF:6×10-7 |
| ISO-K:6×10-6 | ||
| empfohlener Vorvakuumdruck | Pa | 100 |
| Vorvakuumpumpe | RVD-4 (Standard) | |
| Kühlart, Standard | Luft | |
| Kühlwasserverbrauch | L/min | >1 |
| Kühlwassertemperatur | ℃ | ≤25 |
| Eingangsspannung/-frequenz | V/Hz | 220±22/50 |
| Umgebungstemperatur (℃) | ||
| Luftkühlung | 5℃-32℃ | |
| Montageposition | Vertikal | |
| Controller-Modell | FD-110B | |
| L*B*H | mm | 500×510×840 |
| Gewicht | kg | 52 |
