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商品の詳細:
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| 到達圧力: | CF:6×10-7 ISO-K:6×10-6 Pa | フランジ: | DN100 CF/ISO-K |
|---|---|---|---|
| フォアラインポンプ: | 4L/s | 排気速度: | N2:110L/s |
| ハイライト: | ミニポンプステーション,真空ポンプステーション |
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ポンプステーション FJ-110、RVP-4 および ZDF-11A2 による空冷
FJ-110Sandard ターボ分子ポンプユニットは、高真空を得るクリーニング装置です。
この装置は真空の原理を利用した真空取得システムであり、メカニカルポンプと分子ポンプから構成されます。素早い起動、高真空、少ない油汚染、簡単な操作などの特徴を持ち、表面分析、加速器技術、プラズマ技術、電気真空装置製造などの真空分野で広く使用されています。この装置は、特に非標準フレーム、機械ポンプとパイプライン、電気制御システム、水で構成されています。 冷却保護制御など
主なパラメータ:
到達真空度（無負荷）：≦9×10-5Pa
真空系のリーク量：≦5×10-9Pa・M3/S
電源電圧：220V±10/50Hz
冷却方式：空冷（周囲温度≦25℃）
機器使用時の周囲温度：5〜40℃
機器使用時の周囲湿度: ≤ 80%
構成：
| 名前 | 番号 |
| F-100/110分子ポンプと電源（CF） | 1 |
| RVP-4補助ポンプ | 1 |
| 制御電源 | 1 |
| フレーム | 1 |
| CF100/CF35/CF35トランジションチャンバー | 1 |
| CD-35F 手動アイソレーションバルブ | 1 |
| ZDF-11A2 コンビネーション真空計 | 1 |
| その他の付属品 |
仕様:
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ユニット | FJ-110 |
| フランジ(内側) | DN100CF | |
| DN100 ISO-K | ||
| フランジ(アウト) | ISO-KF | DN25 |
| 排気速度 | l/s | N2:110 |
| 彼：100 | ||
| H2:50 | ||
| アル：100 | ||
| 圧縮率 | N2:108 | |
| 彼：102 | ||
| H2:102 | ||
| Ar:108 | ||
| 到達圧力 | パ | CF:6×10-7 |
| ISO-K:6×10-6 | ||
| 推奨真空圧力 | パ | 100 |
| 前真空ポンプ | RVD-4(デフォルト) | |
| 冷却タイプ、標準 | 空気 | |
| 冷却水使用量 | L/分 | >1 |
| 冷却水温度 | ℃ | ≤25 |
| 入力電圧/周波数 | V/Hz | 220±22/50 |
| 環境温度(℃) | ||
| 空冷 | 5℃～32℃ | |
| 取付位置 | 垂直 | |
| コントローラモデル | FD-110B | |
| 長さ*幅*高さ | mm | 500×510×840 |
| 重さ | kg | 52 |
コンタクトパーソン: Mr. Shawn Liu
電話番号: 86-10-82548271
ファックス: 86-010-62564613
