Industrieel turbopompstation DN100 CF/ISO-K
Pompstation FJ-110, Luchtkoeling met RVP-4 en ZDF-11A2 FJ-110Sandard Turbo Molecular Pump Unit is een reinigingsapparaat om een hoog vacuüm te verkrijgen.Dergelijke apparatuur is een vacuümverkrijgend systeem dat het principe van vacuüm toepast en bestaat uit een mechanische pomp en een moleculair...
DN100 Industrieel turbopompstation
,oppervlaktanalyse Industrieel turbopompstation
Pompstation FJ-110, Luchtkoeling met RVP-4 en ZDF-11A2
FJ-110Sandard Turbo Molecular Pump Unit is een reinigingsapparaat om een hoog vacuüm te verkrijgen.
Dergelijke apparatuur is een vacuümverkrijgend systeem dat het principe van vacuüm toepast en bestaat uit een mechanische pomp en een moleculaire pomp. Het wordt gekenmerkt door een snelle start, hoog vacuüm, weinig olievervuiling, eenvoudige bediening enz. en wordt veel gebruikt op het gebied van oppervlakteanalyse, versnellertechnologie, plasmatechnologie, productie van elektrische vacuümapparaten en andere vacuümgebieden. De apparatuur bestaat specifiek uit een niet-standaard frame, mechanische pomp en pijpleidingen, elektrische regelsystemen, water koeling bescherming controle en etc
Belangrijkste parameters:
Ultiem vacuüm (onbelast): ≤ 9×10-5Pa
Lekkagesnelheid van het vacuümsysteem: ≤ 5×10-9Pa·M3/S
Voedingsspanning: 220V ± 10/50 Hz
Koelmethode: luchtkoeling (omgevingstemperatuur ≤ 25℃)
Omgevingstemperatuur voor gebruik van apparatuur: 5-40 ℃
Omgevingsvochtigheid bij gebruik van apparatuur: ≤ 80%
Configuratie:
| Naam | Nummer |
| F-100/110 moleculaire pomp en voeding (CF) | 1 |
| RVP-4 hulppomp | 1 |
| Controle voeding | 1 |
| Kader | 1 |
| CF100/CF35/CF35 overgangskamer | 1 |
| CD-35F handmatige isolatieklep | 1 |
| ZDF-11A2 combinatievacuümmeter | 1 |
| Andere bijlagen |
Specificaties:
|
|
Eenheid | FJ-110 |
| Flens (binnen) | DN100CF | |
| DN100 ISO-K | ||
| Flens (uit) | ISO-KF | DN25 |
| Pompsnelheid | l/s | N2:110 |
| Hij: 100 | ||
| H2:50 | ||
| Ar: 100 | ||
| Compressieverhouding | N2:108 | |
| Hij: 102 | ||
| H2:102 | ||
| Ar: 108 | ||
| Ultieme druk | Pa | CF:6×10-7 |
| ISO-K:6×10-6 | ||
| aanbevolen voorvacuümdruk | Pa | 100 |
| voorvacuümpomp | RVD-4 (standaard) | |
| Koeltype, standaard | Lucht | |
| Koelwaterverbruik | l/min | >1 |
| Koelwatertemperatuur | ℃ | ≤25 |
| Ingangsspanning/frequentie | V/Hz | 220±22/50 |
| Omgevingstemperatuur (℃) | ||
| Luchtkoeling | 5℃-32℃ | |
| montagepositie | Verticaal | |
| Controller-model | FD-110B | |
| L*B*H | mm | 500×510×840 |
| Gewicht | kg | 52 |
