| 排気速度: | 600L/s N2 | 冷却: | 空気 |
|---|---|---|---|
| 到達圧力: | ISO-K:6×10-7、CF:6×10-8、Pa | 真空システムのリーク率:: | ≦1×10-9Pa・m3/S |
| ハイライト: | 真空加圧ステーション、真空ポンプステーション,vacuum pump station |
||
ポンプステーション FJ-620 空冷 RVP-6 および ZDF-11A2 付き
FJ-620スタンダードターボ分子ポンプユニットは、高真空を得るクリーニング装置です。
この装置は真空の原理を利用した真空取得システムであり、メカニカルポンプと分子ポンプから構成されます。素早い起動、高真空、少ない油汚染、簡単な操作などの特徴を持ち、表面分析、加速器技術、プラズマ技術、電気真空装置製造などの真空分野で広く使用されています。この装置は、特に非標準フレーム、機械式ポンプとパイプライン、電気制御システム、水冷保護制御などで構成されています。
構成:
| 名前 | 番号 |
| F-160/620分子ポンプと電源 | 1 |
| RVP-6 メカニカルポンプ | 1 |
| フレーム | 1 |
| 制御電源 | 1 |
| ZDF-11A2 コンビネーション真空計 | 1 |
| その他の付属品 |
主なパラメータ:
真空系のリーク量: ≤ 1×10-9Pa・m3/S
電源電圧：380V±10/50Hz
冷却モード:空冷
装置使用周囲温度：5～40℃
機器使用時の周囲湿度: ≤ 80%
仕様:
| ユニット | FJ-620F | |
| フランジ(内側) | DN160CF | |
| DN160 ISO-K | ||
| フランジ(アウト) | ISO-KF | DN40 |
| 排気速度 | l/s | N2:600 |
| 彼:380 | ||
| H2:240 | ||
| アル：580 | ||
| 圧縮率 | N2:109 | |
| 彼：105 | ||
| H2:104 | ||
| Ar:109 | ||
| 到達圧力 | パ | CF:6×10-8 |
| ISO-K:6×10-7 | ||
| 推奨真空圧力 | パ | 100 |
| 前真空ポンプ | RVP-6(デフォルト) | |
| 冷却タイプ、標準 | 空気 | |
| 冷却水使用量 | L/分 | >1 |
| 冷却水温度 | ℃ | ≤25 |
| 入力電圧/周波数 | V/Hz | 380±20/50 |
| 環境温度(℃) | 水冷 | 5℃～40℃ |
| 空冷 | 5℃～32℃ | |
| 取付位置 | 垂直 | |
| コントローラモデル | FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ | |
| 長さ*幅*高さ | mm | 550×690×956(LF) |
| 550×690×970(CF) | ||
| 重さ | kg | 117 |
コンタクトパーソン: Mr. Shawn Liu
電話番号: 86-10-82548271
ファックス: 86-010-62564613
