プロのターボポンプステーション コンパクトオイルまたはドライバックアップポンプオプション
ポンプステーション FJ-80、コンパクトオイルまたはドライバックアップポンプはオプション ターボポンプステーションはクリーンな高(超高)真空引き装置であり、真空の知識と原理に基づいて主に分子ポンプとメカニカルポンプで構成された真空引きシステムです。この仕様の製品には、対応排気速度 62L/s のターボ ポンプ ステーション FJ-80 が含まれます。補助オイルポンプの排気速度は0.5L/s、補助ドライポンプのポンプ速度は0.2Lです。これらの製品は、表面分析、加速器技術、プラズマ技術、研究室、電気真空装置製造などの真空分野に幅広く応用されています。 構成: フレーム ポータブルユニット 分子...
プロのターボポンプステーション
,コンパクトターボポンプステーション
,オプションバックアップポンプ トルボポンプステーション
ポンプステーション FJ-80、コンパクトオイルまたはドライバックアップポンプはオプション
ターボポンプステーションはクリーンな高(超高)真空引き装置であり、真空の知識と原理に基づいて主に分子ポンプとメカニカルポンプで構成された真空引きシステムです。この仕様の製品には、対応排気速度 62L/s のターボ ポンプ ステーション FJ-80 が含まれます。補助オイルポンプの排気速度は0.5L/s、補助ドライポンプのポンプ速度は0.2Lです。これらの製品は、表面分析、加速器技術、プラズマ技術、研究室、電気真空装置製造などの真空分野に幅広く応用されています。
構成:
| フレーム | ポータブルユニット |
| 分子ポンプ | FF-63/80 |
| 分子ポンプ制御 モジュール |
TC-100 |
| 補助ポンプ | GHD-031B(オイルポンプ) KNF 813.3 ANF (ドライポンプ) |
| 真空計 | WPC400(外付け、オプション) |
| 電磁ブロックバルブ | AirTAC |
| 移行室 | DN63/CF35/KF40 (カスタマイズ可能) |
| その他の付属品 | コルゲートパイプ、フープ、ボルト、ブロックバルブ、無酸素銅シールリングなど |
仕様:
| モデル | ユニット | FJ-80 |
| フランジ(内側) | DN63 ISO-K | |
| DN63CF | ||
| フランジ(アウト) | ISO-KF | DN16 |
| 排気速度 | l/s | N2:62 |
| 彼:55 | ||
| H2:34 | ||
| アル:65 | ||
| 圧縮率 | N2:109 | |
| 彼:105 | ||
| H2:104 | ||
| Ar:109 | ||
| 到達圧力 | パ | 3×10-5(ISO-K);5×10-6(CF) |
| 推奨真空前圧力 | パ | <50 |
| 前真空ポンプ | GHD-031B①(標準) | |
| 冷却タイプ、標準 | 空気 | |
| 冷却水の使用量 | L/分 | >1 |
| 冷却水温度 | ℃ | ≤25 |
| 入力電圧/周波数 | V/Hz | 220±20/50 |
| 環境温度 | ℃ | 5-40 |
| 取付位置 | ベリカル | |
| コントローラモデル | ||
| 長さ*幅*高さ | mm | 400×300×260 |
| 重さ | kg | 16-21 |