高真空ミニポンプステーション 機械ポンプと真空計で水冷却
ポンプステーション FJ-700、メカニカルポンプと真空ゲージによる水冷 FJ-700E標準ターボ分子ポンプユニットは高真空を得るクリーニング装置です。この装置は真空の原理を利用した真空取得システムであり、メカニカルポンプと分子ポンプから構成されます。素早い起動、高真空、少ない油汚染、簡単な操作性などの特徴を持ち、表面分析、加速器技術の分野で広く使用されています。 、プラズマ技術、電気真空装置の製造およびその他の真空分野。この装置は、特殊なフレーム、機械ポンプ、パイプラインで構成されています。、電気制御システム、水 冷却保護制御など 主なパラメータ: 真空系のリーク量: ≤ 1×10-9Pa...
高真空ミニポンプステーション、水冷ミニポンプステーション、機械ポンプミニポンプステーション
,Water Cooling Mini Pumping Station
,Mechanical Pump Mini Pumping Station
ポンプステーション FJ-700、メカニカルポンプと真空ゲージによる水冷
FJ-700E標準ターボ分子ポンプユニットは高真空を得るクリーニング装置です。
この装置は真空の原理を利用した真空取得システムであり、メカニカルポンプと分子ポンプから構成されます。素早い起動、高真空、少ない油汚染、簡単な操作性などの特徴を持ち、表面分析、加速器技術の分野で広く使用されています。 、プラズマ技術、電気真空装置の製造およびその他の真空分野。この装置は、特殊なフレーム、機械ポンプ、パイプラインで構成されています。、電気制御システム、水 冷却保護制御など
主なパラメータ:
真空系のリーク量: ≤ 1×10-9Pa・m3/S
電源電圧：380V±10/50Hz
冷却モード：水冷（入水温度≤25℃）
装置使用周囲温度：5～40℃
機器使用時の周囲湿度: ≤ 80%
構成：
| 名前 | 番号 |
| F-160/700分子ポンプと電源 | 1 |
| RVP-6 メカニカルポンプ | 1 |
| フレーム | 1 |
| 制御電源 | 1 |
| ZDF-11A2 コンビネーション真空計 | 1 |
| その他の付属品 |
特徴：
1.クイックスタート
2.簡単操作
3.水冷保護
4.高真空
仕様:
| ユニット | FJ-700 | |
| フランジ(内側) | DN160CF | |
| DN160 ISO-K | ||
| フランジ(アウト) | ISO-KF | DN40 |
| 排気速度 | l/s | N2:700 |
| 彼：580 | ||
| H2:260 | ||
| アル：680 | ||
| 圧縮率 | N2:109 | |
| 彼：107 | ||
| H2:106 | ||
| Ar:109 | ||
| 到達圧力 | パ | CF:6×10-8 |
| ISO-K:6×10-7 | ||
| 推奨真空圧力 | パ | 100 |
| 前真空ポンプ | RVP-6(デフォルト) | |
| 冷却タイプ、標準 | 水・空気 | |
| 冷却水使用量 | L/分 | >1 |
| 冷却水温度 | ℃ | ≤25 |
| 入力電圧/周波数 | V/Hz | 380±20/50 |
| 環境温度(℃) | 水冷 | 5℃～40℃ |
| 取付位置 | 垂直 | |
| コントローラモデル | FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ | |
| 長さ*幅*高さ | mm | 550×690×850(水) |
| 重さ | kg | 135 |
メンテナンス:
1. 定期的なメンテナンス:
装置の日常使用中は、真空ポンプのオイルレベルとポンプオイルの色を観察することに注意してください。オイルが不足している場合は、適時に補給してください。ポンプオイルの色が異常な場合は、適時に交換してください。
2. 走行中のメンテナンス：
装置の稼働中は、真空チャンバー内に破片が侵入して装置が損傷するのを避けるため、真空チャンバーを清潔に保つよう注意してください。
