Maglev Lubrication Turbomolecular Pump น้ำหล่อเย็น CE

น้ำหล่อเย็น Maglev Lubrication Turbomolecular Pump CE

ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่รองรับเพลาโดยอาศัยแรงแม่เหล็ก

ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์เป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อตอบสนองข้อกำหนดการใช้งานในด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ การผลิตชิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์

เทคโนโลยี:

• เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก: แม่เหล็กไฟฟ้าที่นำมาใช้เป็นแบบลอยด้วยแม่เหล็ก 5 แกน การออกแบบนี้สามารถมีการตอบสนองแบบไดนามิกและการปรับเปลี่ยนได้ทันท่วงทีโดยใช้เทคโนโลยีการควบคุมระบบกันสะเทือนแม่เหล็กวงจรปิดแบบไดนามิกตามทฤษฎีการควบคุมระหว่างประเทศขั้นสูง เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญดังกล่าวของเพลาความเร็วสูงเนื่องจากการทำงานลอยได้อย่างมั่นคงและเชื่อถือได้
• เทคโนโลยีการควบคุมการขับเคลื่อนมอเตอร์: มอเตอร์กระแสตรงความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวประสิทธิภาพสูงถูกนำไปใช้กับปั๊มลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ เพื่อให้มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และเพื่อชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้การสตาร์ทมีเสถียรภาพ การทำงานที่เชื่อถือได้ และฟังก์ชันควบคุมอัตโนมัติของพลังงานไดนามิก
• เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์: โรเตอร์เทอร์โบของปั๊มโมเลกุลระบบกันสะเทือนแม่เหล็กแบบอนุกรมทำโดยการผสมอลูมิเนียมอัลลอยด์ที่มีความแข็งแรงสูงและคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา เมื่อเปรียบเทียบกับโรเตอร์อะลูมิเนียมอัลลอยด์ทั้งหมด โรเตอร์เทอร์โบมีลักษณะพิเศษคือลดน้ำหนักได้ดีเยี่ยมและมีการปรับปรุงความแข็งแกร่งได้ดีมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
• เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน: พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องของปั๊มโมเลกุลแขวนลอยแม่เหล็กแบบอนุกรมได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษ เพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานาน นอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อยเช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสุญญากาศต่ำในปั๊ม ดังนั้นจึงตระหนักถึงการทำงานของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่ปล่อยออกมาอย่างเสถียรเป็นเวลานาน
• ระบบควบคุมอุณหภูมิเครื่องทำความร้อน: ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์มีเครื่องทำความร้อนไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ เพื่อให้สามารถตรวจสอบและควบคุมน้ำหล่อเย็น การทำความร้อนด้วยกระดูกอากาศ เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า และความร้อนที่พาโดยก๊าซป้องกันได้ในระหว่างการใช้งาน สามารถรักษาอุณหภูมิในปั๊มไว้ที่ค่าหนึ่งในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่ถูกแปลงเป็นสารของแข็งที่อุณหภูมิปกติ และจะไม่สะสมอยู่ในปั๊ม และสามารถตอบสนองข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษ เช่น การแกะสลักได้

ข้อมูลจำเพาะ:

การใช้งาน:

ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์ส่วนใหญ่นำไปใช้กับสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการกัดกรด CVD PVD และการฝังไอออน และก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติ