Maglev Smarowanie Turbomolekularne Pompy Ocieplenie wody CE

Chłodzona wodą pompa turbomolekularna ze smarowaniem Maglev CE

Magnetycznie lewitowane pompy molekularne to pompy, których wał jest podtrzymywany siłą magnetyczną.

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych to urządzenia do wytwarzania próżni opracowane przez KYKY w celu spełnienia wymagań aplikacji w dziedzinach nowoczesnej produkcji półprzewodników, produkcji chipów, powlekania przemysłowego i instrumentów naukowych.

Technologie:

• Technologia sterowania łożyskiem magnetycznym: Przyjęty elektromagnetyczny to 5-osiowy lewitowany magnetycznie. Konstrukcja ta może charakteryzować się dynamiczną reakcją i terminową regulacją za pomocą dynamicznej, aktywnej technologii sterowania zawieszeniem magnetycznym w obwodzie zamkniętym, opartej na zaawansowanej międzynarodowej teorii sterowania, aby zagwarantować tak znaczące zalety szybkiego wałów, jak stabilna lewitacja i niezawodna praca.
• Technologia sterowania napędem silnika: Wysokowydajny, szybki silnik prądu stałego i układ sterowania serwomechanizmem są stosowane w szeregowych pompach lewitowanych magnetycznie, aby uzyskać maksymalną energię silnika i automatycznie kompensować prędkość obrotową wałów, zapewniając w ten sposób stabilny rozruch, niezawodne działanie i funkcję automatycznej regulacji energii dynamicznej.
• Technologia wirnika kompozytowego z włókna węglowego: Wirniki turbo seryjnych pomp molekularnych z zawieszeniem magnetycznym są wykonane przez połączenie wysokowytrzymałego stopu aluminium i lekkiego włókna węglowego. W porównaniu ze wszystkimi wirnikami ze stopów aluminium, wirniki turbo charakteryzują się znaczną redukcją masy i znaczną poprawą wytrzymałości, dzięki czemu osiągane są cele w postaci dużej prędkości obrotowej, wysokiej wydajności i wysokiej niezawodności.
• Technologia odporna na korozję: Powierzchnie części w komorach seryjnych pomp molekularnych z zawieszeniem magnetycznym są poddawane specjalnemu procesowi, dzięki czemu powierzchnie są przez długi czas odporne na korozję powodowaną przez żrące gazy w procesach produkcji półprzewodników. Ponadto gazy obojętne, takie jak N2, są całkowicie wypełnione wałami pomp, aby chronić części pomp o niskim podciśnieniu, dzięki czemu realizowana jest funkcja stabilnego usuwania gazów korozyjnych przez długi czas.
• System kontroli temperatury ogrzewania: Seria pomp molekularnych lewitowanych magnetycznie jest wyposażona w grzejnik elektryczny i regulator temperatury, dzięki czemu woda chłodząca, ogrzewanie powietrzne, ogrzewanie elektryczne i ciepło przenoszone przez gazy ochronne mogą być monitorowane i kontrolowane podczas pracy, temperatura w pompach może być utrzymywana na pewnym poziomie przez długi czas, niektóre substancje gazowe nie są przekształcane w substancje stałe w normalnej temperaturze i nie osadzają się w pompach, a także mogą zostać spełnione wymagania dotyczące specjalnego procesu, takiego jak trawienie.

Dane techniczne:

Aplikacje:

Seria magnetycznie lewitowanych pomp molekularnych jest stosowana głównie w dziedzinach produkcji półprzewodników, produkcji zacisków, powlekania przemysłowego i instrumentów naukowych, zwłaszcza do ekstrakcji gazów korozyjnych występujących podczas trawienia, CVD, PVD i implantacji jonów oraz gazów łatwo koagulujących w normalnej temperaturze.