Турбомолекулярный насос смазки Maglev с водяным охлаждением CE

Турбомолекулярный насос водяного охлаждения Maglev смазки CE

Молекулярные насосы на магнитной подвеске — это насосы, валы которых поддерживаются за счет магнитной силы.

Серия молекулярных насосов на магнитной подвеске представляет собой оборудование для генерации вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства чипов, промышленного нанесения покрытий и научных приборов.

Технологии:

• Технология управления магнитным подшипником: Принятый электромагнитный подшипник представляет собой 5-осевой магнитно-левитирующий подшипник. Эта конструкция может иметь динамический отклик и своевременную регулировку с помощью технологии динамического активного управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, основанной на передовой международной теории управления, чтобы гарантировать такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
• Технология управления приводом двигателя: высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к серийным насосам с магнитной левитацией, чтобы обеспечить максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.
• Технология композитного ротора из углеродного волокна: турбороторы серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской изготавливаются путем соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению с роторами из всех алюминиевых сплавов турбороторы характеризуются значительным уменьшением веса и значительным улучшением прочности, что позволяет достичь высоких скоростей вращения, высокой производительности и высокой надежности.
• Технология защиты от коррозии: поверхности деталей в камерах серийных молекулярных насосов с магнитной подвеской обрабатываются специальным способом, чтобы поверхности могли противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников, в течение длительного времени. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполнены валами насосов для защиты низковакуумных частей насосов, благодаря чему реализуется функция стабильного отвода агрессивных газов в течение длительного времени.
• Система контроля температуры нагрева: Серийные молекулярные насосы с магнитной подвеской оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что охлаждающая вода, нагрев воздушной кости, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, могут контролироваться и контролироваться во время работы, температура в насосах может поддерживаться на определенном значении в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не откладываются в насосах, а также могут быть выполнены требования к специальному процессу, такому как травление.

Технические характеристики:

Приложения:

Серийные молекулярные насосы с магнитной подвеской в ​​основном применяются в области производства полупроводников, производства зажимов, промышленного нанесения покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, а также газов, легко коагулируемых при нормальной температуре.