마그레브 윤활 터보 분자 펌프 ISO-K/CF 낮은 전력 소비

자기 부상 펌프 , CXF-200/1400 , 수냉식 , ISO-K/CF , 외부 컨트롤러

자기부상 분자펌프는 자기력에 의해 샤프트가 지지되는 펌프이다.

시리즈 자기 부상 분자 펌프는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업용 도금 및 과학 장비 분야의 응용 요구 사항을 충족하기 위해 KYKY에서 개발한 진공 생성 장비입니다.

기술:

• 자기 베어링 제어 기술:고급 국제 제어 이론을 기반으로 한 5축 자기 부상 장치는 안정적인 부상 및 안정적인 작동과 같은 고속 샤프트의 중요한 이점을 보장합니다.
• 모터 드라이브 제어 기술:고효율 고속 DC 모터 및 서보 제어 시스템으로 모터의 에너지를 최대화하고 축의 회전 속도를 자동으로 보상하여 안정적인 시동, 안정적인 작동 및 동적 에너지의 자동 조절 기능을 실현합니다.
• 탄소 섬유 복합 로터 기술:고강도 알루미늄 합금과 경량 탄소섬유를 복합하여 제작되었습니다. 중량을 크게 줄이고 강도를 크게 향상시켜 높은 회전 속도, 고성능 및 높은 신뢰성이라는 목표를 달성합니다.
• 부식 방지 기술:챔버 내 부품 표면을 특수 가공 처리하여 반도체 제조 공정에서 발생하는 부식성 가스로 인한 부식을 장기간 견딜 수 있습니다. 또한, 펌프 샤프팅에 N2 등의 불활성 가스를 가득 채워 펌프 내부의 저진공 부분을 보호함으로써 부식성 가스를 장기간 안정적으로 배출하는 기능을 구현합니다.
• 가열 온도 제어 시스템:전기 히터 및 온도 조절 장치가 장착되어 냉각수, 에어본 가열, 전기 가열 및 보호 가스에 의해 전달되는 열을 작동 중에 모니터링 및 제어할 수 있으며, 펌프의 온도를 장기간 특정 값으로 유지할 수 있으며, 일부 기체 물질은 상온에서 고체 물질로 변환되지 않고 펌프에 침전되지 않으며, 에칭과 같은 특수 공정에 대한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

장점:

1. 작동 중 마찰이 없고 전력 소모가 적습니다.

2. 펌프에 윤활유를 사용하지 않고도 매우 깨끗한 고진공 및 초고진공을 쉽게 얻을 수 있습니다.

3. 부식성 가스를 장기간 추출 가능

4. 정밀 세라믹 볼로 베어링을 보호하여 안전성이 높고 수명이 길다.

5. 갑작스런 전원 차단시 발전 기능

6. 마찰이 없음

7. 오염이 없음

8. 유지 보수가 필요하지 않습니다.

9. 낮은 진동

10. 어떤 방향으로도 설치 가능합니다.

신청:

반도체제조, 클립제조, 산업용 도금, 과학기기 분야에서 식각, CVD, PVD, 이온주입 등에 존재하는 부식성 가스와 상온에서 쉽게 응고되는 가스를 추출합니다.

명세서: