Maglev Lubrication Turbomolecular Pump ISO-K/CF Konsumsi daya rendah

Pompa Maglev, CXF-200/1400, Pendingin Air, ISO-K/CF, Pengontrol eksternal

Pompa molekuler yang melayang secara magnetis adalah pompa yang porosnya ditopang oleh gaya magnet.

Pompa molekuler seri yang melayang secara magnetis adalah peralatan pembangkit vakum yang dikembangkan oleh KYKY untuk memenuhi persyaratan aplikasi di bidang manufaktur semikonduktor modern, manufaktur chip, pelapisan industri, dan instrumen ilmiah.

Teknologi:

• Teknologi Kontrol untuk Bantalan Magnetik:sebuah 5 sumbu yang melayang secara magnetis, berdasarkan teori kontrol internasional yang canggih, untuk menjamin keuntungan signifikan dari poros berkecepatan tinggi seperti operasi melayang yang stabil dan andal.
• Teknologi Kontrol Penggerak Motor:Motor DC berkecepatan tinggi dan sistem kontrol servo dengan efisiensi tinggi, memiliki energi maksimum motor dan mengkompensasi kecepatan putar poros secara otomatis, sehingga mewujudkan start-up yang stabil, pengoperasian yang andal, dan fungsi pengaturan otomatis energi dinamis.
• Teknologi rotor komposit serat karbon:Dibuat dengan menggabungkan paduan aluminium berkekuatan tinggi dan serat karbon ringan. ditandai dengan pengurangan bobot yang besar dan peningkatan kekuatan yang besar, sehingga target kecepatan putar tinggi, kinerja tinggi, dan keandalan tinggi tercapai.
• Teknologi tahan korosi:Permukaan bagian-bagian dalam ruang diperlakukan dengan proses khusus, sehingga permukaan tersebut dapat menahan korosi yang disebabkan oleh gas korosif dalam proses pembuatan semikonduktor dalam waktu yang lama. Selain itu, gas inert seperti N2 terisi penuh di poros pompa untuk melindungi bagian vakum rendah di pompa, sehingga fungsi pembuangan gas korosif secara stabil dalam jangka waktu lama dapat terwujud.
• Sistem kontrol suhu pemanasan:dilengkapi dengan pemanas listrik dan pengontrol suhu, air pendingin, pemanas tulang udara, pemanas listrik dan panas yang dibawa oleh gas pelindung dapat dipantau dan dikontrol selama pengoperasian, suhu di dalam pompa dapat dipertahankan pada nilai tertentu untuk jangka panjang, beberapa zat gas tidak diubah menjadi zat padat pada suhu normal dan tidak disimpan di dalam pompa, dan persyaratan untuk proses khusus seperti etsa dapat dipenuhi.

Keuntungannya:

1. Nol gesekan selama pengoperasian, dan konsumsi daya rendah

2. Mudah untuk mendapatkan vakum tinggi dan vakum ultrahigh yang benar-benar bersih tanpa pelumasan untuk pompa

3. Mampu mengekstraksi gas korosif untuk jangka panjang

4. Keamanan tinggi dan masa pakai yang lama karena perlindungan bantalan dengan bola keramik presisi

5. fungsi pembangkit listrik jika terjadi pemadaman listrik secara tiba-tiba

6. Bebas gesekan

7. Bebas polusi

8. Bebas perawatan

9. Getaran rendah

10. dipasang di orientasi apa pun.

Aplikasi:

Ekstraksi gas korosif yang ada dalam etsa, CVD, PVD dan implantasi ion serta gas yang mudah terkoagulasi pada suhu normal di bidang manufaktur semikonduktor, manufaktur klip, pelapisan industri dan instrumen ilmiah, .

Spesifikasi: