ปั๊มหมุนย่อย Maglev ISO-K/CF การบริโภคพลังงานต่ํา

ปั๊มแม็กเลฟ , CXF-200/1400 , ระบายความร้อนด้วยน้ำ , ISO-K/CF , คอนโทรลเลอร์ภายนอก

ปั๊มโมเลกุลที่ลอยด้วยแม่เหล็กคือปั๊มที่รองรับเพลาโดยอาศัยแรงแม่เหล็ก

ปั๊มโมเลกุลลอยด้วยแม่เหล็กซีรีส์เป็นอุปกรณ์สร้างสุญญากาศที่พัฒนาโดย KYKY เพื่อตอบสนองข้อกำหนดการใช้งานในด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ การผลิตชิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์

เทคโนโลยี:

• เทคโนโลยีการควบคุมสำหรับแบริ่งแม่เหล็ก:แกนลอยด้วยแม่เหล็ก 5 แกน ตามทฤษฎีการควบคุมระหว่างประเทศขั้นสูง เพื่อรับประกันข้อได้เปรียบที่สำคัญของการเพลาความเร็วสูง เช่น การทำงานลอยได้อย่างมั่นคงและเชื่อถือได้
• เทคโนโลยีการควบคุมมอเตอร์ไดรฟ์:มอเตอร์กระแสตรงความเร็วสูงและระบบควบคุมเซอร์โวประสิทธิภาพสูง มีพลังงานสูงสุดของมอเตอร์และชดเชยความเร็วในการหมุนของเพลาโดยอัตโนมัติ จึงทำให้สตาร์ทเครื่องได้อย่างเสถียร การทำงานที่เชื่อถือได้ และฟังก์ชันควบคุมอัตโนมัติของพลังงานไดนามิก
• เทคโนโลยีโรเตอร์คอมโพสิตคาร์บอนไฟเบอร์:ผลิตจากการผสมอลูมิเนียมอัลลอยด์ที่มีความแข็งแรงสูงเข้ากับคาร์บอนไฟเบอร์น้ำหนักเบา โดดเด่นด้วยการลดน้ำหนักได้อย่างมากและการปรับปรุงความแข็งแกร่งอย่างมาก เพื่อให้บรรลุเป้าหมายที่มีความเร็วในการหมุนสูง ประสิทธิภาพสูง และความน่าเชื่อถือสูง
• เทคโนโลยีต้านทานการกัดกร่อน:พื้นผิวของชิ้นส่วนในห้องเพาะเลี้ยงได้รับการบำบัดด้วยกระบวนการพิเศษเพื่อให้พื้นผิวสามารถต้านทานการกัดกร่อนที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นเวลานาน นอกจากนี้ ก๊าซเฉื่อย เช่น N2 จะถูกเติมเข้าไปในเพลาของปั๊มจนเต็มเพื่อป้องกันชิ้นส่วนสุญญากาศต่ำในปั๊ม ดังนั้นจึงตระหนักถึงการทำงานของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่ระบายออกอย่างเสถียรเป็นเวลานาน
• ระบบควบคุมอุณหภูมิความร้อน:สามารถติดตั้งเครื่องทำความร้อนไฟฟ้าและตัวควบคุมอุณหภูมิ น้ำหล่อเย็น การทำความร้อนด้วยอากาศกระดูก เครื่องทำความร้อนไฟฟ้า และความร้อนที่พาโดยก๊าซป้องกันสามารถตรวจสอบและควบคุมได้ในระหว่างการใช้งาน สามารถรักษาอุณหภูมิในปั๊มไว้ที่ค่าใดค่าหนึ่งในระยะยาว สารก๊าซบางชนิดจะไม่ถูกแปลงเป็นสารของแข็งที่อุณหภูมิปกติและจะไม่สะสมอยู่ในปั๊ม และสามารถตอบสนองข้อกำหนดสำหรับกระบวนการพิเศษ เช่น การแกะสลักได้

ข้อดี:

1. ไม่มีแรงเสียดทานระหว่างการทำงานและใช้พลังงานต่ำ

2. ง่ายต่อการรับสุญญากาศสูงและสุญญากาศสูงพิเศษที่สะอาดจริง ๆ โดยไม่ต้องหล่อลื่นปั๊ม

3. สามารถสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ในระยะยาว

4. ความปลอดภัยสูงและอายุการใช้งานยาวนานเนื่องจากการปกป้องตลับลูกปืนด้วยลูกเซรามิกที่มีความแม่นยำ

5. ฟังก์ชั่นสร้างพลังงานในกรณีที่ไฟฟ้าดับกะทันหัน

6. ปราศจากแรงเสียดทาน

7. ปราศจากมลภาวะ

8. ไม่มีการบำรุงรักษา

9. การสั่นสะเทือนต่ำ

10.ติดตั้งในทิศทางใดก็ได้

การใช้งาน:

การสกัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีอยู่ในการฝังกัดกรด CVD PVD และไอออน และก๊าซที่จับตัวเป็นก้อนได้ง่ายที่อุณหภูมิปกติในด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตคลิป การชุบทางอุตสาหกรรม และเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์

ข้อมูลจำเพาะ: