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商品の詳細:
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| フランジ: | ISO-K/CF160 | 冷却: | 空気 |
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| 潤滑: | 油 | 応用: | コーティング、CVD、イオン注入、電子ビーム溶接 |
| ハイライト: | ターボ分子真空ポンプ、ターボ真空ポンプ,turbo vacuum pump |
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ターボ分子ポンプ、FF-160/620E、水冷、油潤滑
油潤滑ターボポンプはKYKYが開発した小型・高性能の製品です。オイル潤滑ターボポンプの利点は、コンパクトな構造、便利な操作、柔軟な設置、広い適用範囲、安定した性能です。
利点:
1. 過酷な環境(高温、粉塵など)下でも優れた性能を発揮します。
2. 安定した性能と長寿命
3. 簡単なメンテナンス、便利な操作
アプリケーション:
主な用途は、工業用リーク検出、PVD、CVD、イオン注入、真空電子部品製造、Low-E ガラス、ITO ガラス、光学コーティング、太陽電池、電子ビーム溶接、真空炉およびその他の産業です。
仕様:
| フランジ(内側) | DN160 CF/ISO-K |
| フランジ(アウト) KF | DN40 |
| 排気速度(L/s) | N2:600 |
| 彼:380 | |
| H2:240 | |
| アル:580 | |
| 圧縮率 | N2:109 |
| 彼:105 | |
| H2:104 | |
| Ar:109 | |
| 到達圧力(Pa) | CF:6×10-8 |
| ISO-K:6×10-7 | |
| 最大。連続真空前圧力(Pa) | 240 |
| 最大。前真空圧力 | N2:350 |
| 全体のガス (sccm) | N2:1200 |
| 彼:880 | |
| H2:700 | |
| アル:450 | |
| 回転速度(rpm) | 36000 |
| 助走時間(分) | ≤9 |
| 冷却タイプ、標準 | 空気 |
| 冷却水消費量(L/min) | ≥1 |
| 冷却水温度(℃) | ≤25 |
| 電源接続: 電圧 (V AC) | 220±22 |
| 最大消費電力(W) | ≤500 |
| コントローラモデル | TCDP-Ⅱ 2.5メートルのケーブル付き |
| 重量 (kg) | 29(LF) 30.5(CF) |
コンタクトパーソン: Mr. Shawn Liu
電話番号: 86-10-82548271
ファックス: 86-010-62564613