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商品の詳細:
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| フランジ: | DN150CF | 排気速度: | 120L/sエア |
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| 到達圧力: | 7E-8Pa | 動作電圧: | +7KV |
| ハイライト: | バリアンイオンポンプ,スターセルイオンポンプ |
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イオンポンプ , 2L-100 , DN150CF , 120L/s エア , 1.2L/s Ar , +7KV
スパッタイオンポンプは、クリーン、高真空度、騒音ゼロ、振動ゼロ、操作性などの利点を備えた、クリーンな超高真空を得るための真空発生装置です。イオン ポンプは閉鎖システムで動作するため、バックアップ ポンプを継続的に動作させる必要がありません。
原理：
陽極の材質はステンレスバレル、陰極の材質はチタンプレートです。ペニング放電プロセスは、磁界と電界の共同作用によりガスをイオン化し、ガスの排出を実現します。
アプリケーション:
スパッタイオンポンプはオイルレス超高真空セットのメインポンプであり、高エネルギー粒子加速器、制御熱核反応装置、電気真空装置、半導体材料、電子顕微鏡、質量分析計などの科学実験装置、その他超高真空を必要とする産業機器に応用できます。
仕様:
| モデル | 2L-100 | ||
| フランジ | DN150CF | ||
| 排気速度(L/S) | （ 空気） | 120 | |
| 排気速度 | (アル) | 1.2 | |
| 起動圧力(Pa) | ≤5×10-4 | ||
| 到達圧力(Pa) | 7×10-8 | ||
| (℃)焼成温度 | ＜200 | ||
| 磁気付き | |||
| 磁気なし | ＜300 | ||
| 動作電圧(KV) | 7 | ||
| 電極ユニット | 4 | ||
| 寸法(mm) | 140×210(4-M10) | ||
| 長さ*幅*高さ (mm) | 350×250×307 | ||
| (kg) 重量 | 38 | ||
コンタクトパーソン: Mr. Shawn Liu
電話番号: 86-10-82548271
ファックス: 86-010-62564613
