Controlador externo de la bomba Maglev Turbo bomba de vacío de refrigeración de agua motor de accionamiento

Bomba Maglev, CXF-250/2300, ISO-K/CF, refrigeración por agua, controlador externo

Las bombas moleculares de levitación magnética son bombas cuyo eje está soportado en virtud de la fuerza magnética, cumpliendo con los requisitos de aplicación para los campos de la fabricación moderna de semiconductores, fabricación de chips, revestimiento industrial e instrumentos científicos.

Tecnologías:

• Tecnología de control para rodamientos magnéticos:Un eje de levitación magnética de 5 ejes, basado en la teoría de control internacional avanzada, para garantizar ventajas tan significativas del eje de alta velocidad como levitación estable y operación confiable.
• Tecnología de control de accionamiento del motor:Motor de CC de alta velocidad y alta eficiencia y sistema de servocontrol, que tiene la máxima energía del motor y compensa la velocidad de rotación del eje automáticamente, logrando así un arranque estable, un funcionamiento confiable y una función de regulación automática de la energía dinámica.
• Tecnología de rotor compuesto de fibra de carbono:Fabricado combinando una aleación de aluminio de alta resistencia y fibra de carbono liviana. caracterizado por una gran reducción de peso y una gran mejora de la resistencia, de modo que se logran objetivos de alta velocidad de rotación, alto rendimiento y alta confiabilidad.
• Tecnología resistente a la corrosión:Las superficies de las piezas en las cámaras se tratan con un proceso especial, de modo que puedan resistir la corrosión causada por gases corrosivos en los procesos de fabricación de semiconductores durante mucho tiempo. Además, los gases inertes como el N2 se llenan completamente en el eje de las bombas para proteger las partes de bajo vacío de las bombas, de modo que se realice la función de expulsar de manera estable los gases corrosivos durante largos períodos.
• Sistema de control de temperatura de calefacción:equipadas con un calentador eléctrico y un controlador de temperatura, el agua de refrigeración, la calefacción de aire y huesos, la calefacción eléctrica y el calor transportado por los gases protectores se pueden monitorear y controlar durante la operación, la temperatura en las bombas se puede mantener en algún valor durante un largo plazo, algunas sustancias gaseosas no se convierten en sustancias sólidas a temperatura normal y no se depositan en las bombas, y se pueden cumplir con los requisitos de procesos especiales como el grabado.

Las ventajas:

Estas bombas tienen ventajas, como fricción cero durante el funcionamiento y bajo consumo de energía, fácil de adquirir alto vacío realmente limpio y vacío ultraalto sin lubricación para bombas, capaz de extraer gases corrosivos a largo plazo, alta seguridad y larga vida útil debido a la protección de los rodamientos con bolas cerámicas de precisión y la función de generación de energía en caso de apagado repentino. Tiene las ventajas de estar libre de fricción, contaminación y mantenimiento y con baja vibración, pudiendo instalarse en cualquier orientación.

Aplicaciones:

Extracción de gases corrosivos existentes en el grabado, CVD, PVD e implantación de iones y gases fácilmente coagulables a temperatura normal en los campos de la fabricación de semiconductores, la fabricación de clips, el revestimiento industrial y los instrumentos científicos.

Especificación: