Externe Steuerung Maglev-Pumpe Turbovakuumpumpe Wasserkühlung Motorantrieb

Magnetschwebebahnpumpe, CXF-250/2300, ISO-K/CF, Wasserkühlung, externe Steuerung

Bei den magnetisch schwebenden Molekularpumpen handelt es sich um Pumpen, deren Welle durch Magnetkraft unterstützt wird. Sie erfüllen die Anwendungsanforderungen für die Bereiche moderne Halbleiterfertigung, Chipherstellung, industrielle Galvanisierung und wissenschaftliche Instrumente.

Technologien:

• Steuerungstechnik für Magnetlager:eine 5-Achsen-Magnetschwebevorrichtung, die auf der fortschrittlichen internationalen Steuerungstheorie basiert und so bedeutende Vorteile der Hochgeschwindigkeitswelle wie stabile Schwebebewegung und zuverlässigen Betrieb gewährleistet.
• Motorantriebssteuerungstechnik:Hocheffizientes Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor- und Servosteuerungssystem mit maximaler Motorenergie und automatischer Kompensation der Drehzahl der Welle, wodurch ein stabiler Start, ein zuverlässiger Betrieb und eine automatische Regulierungsfunktion der dynamischen Energie realisiert werden.
• Rotortechnologie aus Kohlefaserverbundwerkstoff:Hergestellt durch die Verbindung einer hochfesten Aluminiumlegierung und einer leichten Kohlefaser. zeichnet sich durch eine große Gewichtsreduzierung und eine große Verbesserung der Festigkeit aus, so dass Ziele wie hohe Drehzahl, hohe Leistung und hohe Zuverlässigkeit erreicht werden.
• Korrosionsbeständige Technologie:Die Oberflächen der Teile in den Kammern werden mit einem speziellen Verfahren behandelt, sodass die Oberflächen der Korrosion durch korrosive Gase in Halbleiterfertigungsprozessen lange Zeit widerstehen können. Darüber hinaus sind die Wellen der Pumpen vollständig mit Inertgasen wie N2 gefüllt, um die Niedervakuumteile in den Pumpen zu schützen, so dass die Funktion der stabilen Absaugung korrosiver Gase über lange Zeiträume gewährleistet ist.
• Heizungstemperaturregelsystem:Ausgestattet mit einer elektrischen Heizung und einem Temperaturregler können Kühlwasser, Luft-Knochen-Heizung, elektrische Heizung und die von Schutzgasen transportierte Wärme während des Betriebs überwacht und gesteuert werden, die Temperatur in den Pumpen kann langfristig auf einem bestimmten Wert gehalten werden, einige gasförmige Substanzen werden bei normaler Temperatur nicht in feste Substanzen umgewandelt und lagern sich nicht in den Pumpen ab, und Anforderungen für spezielle Prozesse wie das Ätzen können erfüllt werden.

Die Vorteile:

Diese Pumpen bieten Vorteile wie Nullreibung während des Betriebs und geringen Stromverbrauch, einfache Erzielung eines wirklich sauberen Hoch- und Ultrahochvakuums ohne Schmierung der Pumpen, Fähigkeit zur langfristigen Absaugung korrosiver Gase, hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Schutz der Lager mit Präzisionskeramikkugeln und Stromerzeugungsfunktion bei plötzlichem Ausschalten. Die Vorteile sind, dass es reibungs-, verschmutzungs- und wartungsfrei sowie vibrationsarm ist und in jeder Ausrichtung eingebaut werden kann.

Anwendungen:

Absaugung von korrosiven Gasen, die beim Ätzen, CVD, PVD und Ionenimplantation entstehen, sowie von Gasen, die bei normaler Temperatur leicht koaguliert werden, in den Bereichen Halbleiterfertigung, Clipherstellung, industrielle Galvanisierung und wissenschaftliche Instrumente.

Spezifikation: