Экологически безопасная турбонасосная станция с максимальным вакуумом ≤ 9E-5Pa
Насосная станция FJ-110, Водяное охлаждение, Предельный вакуум (без нагрузки): ≤ 9E-5Па ФДЖ-110Молекулярный насос Sandard Turbo — это очистительное оборудование для получения высокого вакуума.Такое оборудование представляет собой систему получения вакуума, использующую принцип вакуума и состоящую из ...
Экологичная турбонасосная станция
,Вакуумная турбонасосная станция
,Простая в эксплуатации турбонасосная станция
Насосная станция FJ-110, Водяное охлаждение, Предельный вакуум (без нагрузки): ≤ 9E-5Па
ФДЖ-110Молекулярный насос Sandard Turbo — это очистительное оборудование для получения высокого вакуума.
Такое оборудование представляет собой систему получения вакуума, использующую принцип вакуума и состоящую из механического насоса и молекулярного насоса. Он отличается быстрым запуском, высоким вакуумом, небольшим загрязнением маслом, простотой эксплуатации и т. д. Он широко используется в области анализа поверхности, ускорительной технологии, плазменной технологии, производстве электровакуумных устройств и других областях вакуума. Оборудование состоит из нестандартной рамы, механического насоса и трубопроводов, электрических систем управления, системы водоснабжения. контроль защиты охлаждения и т. д.
Основные параметры:
Предельный вакуум (без нагрузки): ≤ 9×10-5Па
Скорость утечки вакуумной системы: ≤ 5×10-9Па·м3/с.
Напряжение источника питания: 220 В ± 10/50 Гц
Способ охлаждения: вода
Температура окружающей среды для использования оборудования: 5-40 ℃.
Влажность окружающей среды при использовании оборудования: ≤ 80 %.
Конфигурация:
| Имя | Число |
| Молекулярный насос Ф-100/110 и источник питания (ЦФ) | 1 |
| Форвакуумный насос РВП-4 | 1 |
| Контрольный источник питания | 1 |
| Рамка | 1 |
| Переходная камера CF100/CF35/CF35 | 1 |
| Ручной запорный клапан CD-35F | 1 |
| Комбинированный вакуумметр ZDF-11A2 | 1 |
| Другие вложения |
Спецификация:
| Единица | ФДЖ-110 | |
| Фланец(Внутри) | ДУ100CF | |
| Ду100 ИСО-К | ||
| Фланец (выход) | ИСО-КФ | Ду25 |
| Скорость откачки | л/с | Н2:110 |
| Он: 100 | ||
| ЧАС2:50 | ||
| Ар:100 | ||
| Степень сжатия | Н2:108 | |
| Он: 102 | ||
| ЧАС2:102 | ||
| Ар:108 | ||
| Предельное давление | Па | КФ: 6×10-7 |
| ИСО-К:6×10-6 | ||
| рекомендуемое давление форвакуума | Па | 100 |
| форвакуумный насос | РВД-4 (по умолчанию) | |
| Тип охлаждения,Стандартный | Воздух | |
| Потребление охлаждающей воды | л/мин | >1 |
| Температура охлаждающей воды | ℃ | ≤25 |
| Входное напряжение/частота | В/Гц | 220±22/50 |
| Температура окружающей среды (℃) | Водяное охлаждение | 5℃-40℃ |
| монтажное положение | Вертикальный | |
| Модель контроллера | ФД-110Б | |
| Д*Ш*В | мм | 500×510×840 |
| Масса | кг | 52 |
