Operação fácil final do ≤ 9E-5Pa do vácuo a favor do meio ambiente da estação de bomba do turbocompressor

Estação de bomba FJ-110, resfriamento a água, vácuo máximo (sem carga): ≤ 9E-5Pa

FJ-110Sandard Turbo Molecular Pump Unit é um equipamento de limpeza para obtenção de alto vácuo.
Tal equipamento é um sistema de obtenção de vácuo que adota o princípio do vácuo, e consiste em bomba mecânica e bomba molecular. É caracterizado por partida rápida, alto vácuo, pouca poluição por óleo, fácil operação e etc. e amplamente utilizado nas áreas de análise de superfície, tecnologia de acelerador, tecnologia de plasma, fabricação de dispositivos elétricos de vácuo e outras áreas de vácuo. O equipamento é composto especificamente por estrutura não padronizada, bomba mecânica e tubulações, sistemas de controle elétrico, água controle de proteção de resfriamento e etc.

Parâmetros principais:

Vácuo final (sem carga): ≤ 9×10-5Pa
Taxa de vazamento do sistema de vácuo: ≤ 5×10-9Pa·M3/S
Tensão de alimentação: 220V±10/50Hz
Método de resfriamento: água
Temperatura ambiente para utilização do equipamento: 5-40 ℃
Umidade ambiente para utilização do equipamento: ≤ 80%

Configuração:

Especificação: