Operação fácil final do ≤ 9E-5Pa do vácuo a favor do meio ambiente da estação de bomba do turbocompressor
Estação de bomba FJ-110, resfriamento a água, vácuo máximo (sem carga): ≤ 9E-5Pa FJ-110Sandard Turbo Molecular Pump Unit é um equipamento de limpeza para obtenção de alto vácuo.Tal equipamento é um sistema de obtenção de vácuo que adota o princípio do vácuo, e consiste em bomba mecânica e bomba ...
Estação Turbo-Pumpa Amigável ao Ambiente
,Estação Turbo-Pumpa de Vácuo
,Estação Turbo-Pumpa de Operação Fácil
Estação de bomba FJ-110, resfriamento a água, vácuo máximo (sem carga): ≤ 9E-5Pa
FJ-110Sandard Turbo Molecular Pump Unit é um equipamento de limpeza para obtenção de alto vácuo.
Tal equipamento é um sistema de obtenção de vácuo que adota o princípio do vácuo, e consiste em bomba mecânica e bomba molecular. É caracterizado por partida rápida, alto vácuo, pouca poluição por óleo, fácil operação e etc. e amplamente utilizado nas áreas de análise de superfície, tecnologia de acelerador, tecnologia de plasma, fabricação de dispositivos elétricos de vácuo e outras áreas de vácuo. O equipamento é composto especificamente por estrutura não padronizada, bomba mecânica e tubulações, sistemas de controle elétrico, água controle de proteção de resfriamento e etc.
Parâmetros principais:
Vácuo final (sem carga): ≤ 9×10-5Pa
Taxa de vazamento do sistema de vácuo: ≤ 5×10-9Pa·M3/S
Tensão de alimentação: 220V±10/50Hz
Método de resfriamento: água
Temperatura ambiente para utilização do equipamento: 5-40 ℃
Umidade ambiente para utilização do equipamento: ≤ 80%
Configuração:
| Nome | Número |
| Bomba molecular F-100/110 e fonte de alimentação (CF) | 1 |
| Bomba de apoio RVP-4 | 1 |
| Fonte de alimentação de controle | 1 |
| Quadro | 1 |
| Câmara de transição CF100/CF35/CF35 | 1 |
| Válvula de isolamento manual CD-35F | 1 |
| Medidor de vácuo combinado ZDF-11A2 | 1 |
| Outros anexos |
Especificação:
| Unidade | FJ-110 | |
| Flange (dentro) | DN100CF | |
| DN100 ISO-K | ||
| Flange (Fora) | ISO-KF | DN25 |
| Velocidade de bombeamento | l/s | N2:110 |
| Ele: 100 | ||
| H2:50 | ||
| Ar:100 | ||
| Taxa de compressão | N2:108 | |
| Ele: 102 | ||
| H2:102 | ||
| Ar:108 | ||
| Pressão Final | Pai | CF:6×10-7 |
| ISO-K:6×10-6 | ||
| pressão de vácuo recomendada | Pai | 100 |
| bomba de pré-vácuo | RVD-4 (padrão) | |
| Tipo de resfriamento, padrão | Ar | |
| Consumo de água de resfriamento | L/min | >1 |
| Temperatura da água de resfriamento | ℃ | ≤25 |
| Tensão/frequência de entrada | V/Hz | 220±22/50 |
| Temperatura ambiente (℃) | Resfriamento a água | 5℃-40℃ |
| posição de montagem | Vertical | |
| Modelo de controlador | FD-110B | |
| L*W*H | milímetros | 500×510×840 |
| Peso | kg | 52 |
