Umweltschonende Turbopumpstation Endvakuum ≤ 9E-5Pa Einfacher Betrieb
Pumpstation FJ-110, Wasserkühlung, Endvakuum (ohne Last): ≤ 9E-5Pa FJ-110Die Sandard Turbo Molecular Pump Unit ist ein Reinigungsgerät zur Erzielung eines Hochvakuums.Bei einer solchen Ausrüstung handelt es sich um ein Vakuumerzeugungssystem, das das Prinzip des Vakuums anwendet und aus einer ...
Umweltschonende Turbopumpstation
,Vakuum-Turbopumpenstation
,Einfache Bedienung der Turbopumpenstation
Pumpstation FJ-110, Wasserkühlung, Endvakuum (ohne Last): ≤ 9E-5Pa
FJ-110Die Sandard Turbo Molecular Pump Unit ist ein Reinigungsgerät zur Erzielung eines Hochvakuums.
Bei einer solchen Ausrüstung handelt es sich um ein Vakuumerzeugungssystem, das das Prinzip des Vakuums anwendet und aus einer mechanischen Pumpe und einer Molekularpumpe besteht. Es zeichnet sich durch schnelles Starten, hohes Vakuum, geringe Ölverschmutzung, einfache Bedienung usw. aus und wird häufig in den Bereichen Oberflächenanalyse, Beschleunigertechnologie, Plasmatechnologie, Herstellung elektrischer Vakuumgeräte und anderen Vakuumbereichen eingesetzt. Die Ausrüstung besteht speziell aus einem nicht standardmäßigen Rahmen, einer mechanischen Pumpe und Rohrleitungen, elektrischen Steuerungssystemen und Wasser Kühlschutzsteuerung usw
Hauptparameter:
Endvakuum (ohne Last): ≤ 9×10-5Pa
Leckrate des Vakuumsystems: ≤ 5×10-9Pa·M3/S
Versorgungsspannung: 220 V ± 10/50 Hz
Kühlmethode: Wasser
Umgebungstemperatur für die Gerätenutzung: 5–40 °C
Umgebungsfeuchtigkeit für Gerätenutzung: ≤ 80 %
Konfiguration:
| Name | Nummer |
| F-100/110 Molekularpumpe und Netzteil (CF) | 1 |
| RVP-4-Vorvakuumpumpe | 1 |
| Steuerstromversorgung | 1 |
| Rahmen | 1 |
| Übergangskammer CF100/CF35/CF35 | 1 |
| Manuelles Absperrventil CD-35F | 1 |
| Kombi-Vakuummeter ZDF-11A2 | 1 |
| Andere Anhänge |
Spezifikation:
| Einheit | FJ-110 | |
| Flansch (Innen) | DN100CF | |
| DN100 ISO-K | ||
| Flansch (außen) | ISO-KF | DN25 |
| Pumpgeschwindigkeit | l/s | N2:110 |
| Er: 100 | ||
| H2:50 | ||
| Ar:100 | ||
| Kompressionsverhältnis | N2:108 | |
| Er:102 | ||
| H2:102 | ||
| Ar:108 | ||
| Ultimativer Druck | Pa | CF:6×10-7 |
| ISO-K:6×10-6 | ||
| empfohlener Vorvakuumdruck | Pa | 100 |
| Vorvakuumpumpe | RVD-4 (Standard) | |
| Kühlart, Standard | Luft | |
| Kühlwasserverbrauch | L/min | >1 |
| Kühlwassertemperatur | ℃ | ≤25 |
| Eingangsspannung/-frequenz | V/Hz | 220±22/50 |
| Umgebungstemperatur (℃) | Wasserkühlung | 5℃-40℃ |
| Montageposition | Vertikal | |
| Controller-Modell | FD-110B | |
| L*B*H | mm | 500×510×840 |
| Gewicht | kg | 52 |
