Baixo consumo de energia da bomba molecular de cinco eixos

CE da bomba turbomolecular da lubrificação de Maglev refrigerar de água

As bombas moleculares levitadas magneticamente são aquelas cujo eixo é suportado em virtude da força magnética.

As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são equipamentos de geração de vácuo desenvolvidos pela KYKY para atender aos requisitos de aplicação nas áreas de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.

Tecnologias:

• Tecnologia de controle para rolamento magnético: O eletromagnético adotado é um levitado magneticamente de 5 eixos. Este projeto pode ter resposta dinâmica e ajuste oportuno por meio da tecnologia de controle de suspensão magnética de circuito fechado ativo dinâmico baseada na teoria de controle internacional avançada, de modo a garantir vantagens significativas do eixo de alta velocidade como operação levitada estável e confiável.
• Tecnologia de controle de acionamento do motor: Motor DC de alta velocidade e alta eficiência e sistema de servocontrole são aplicados a bombas levitadas magneticamente em série, para ter energia máxima do motor e compensar automaticamente a velocidade de rotação do eixo, realizando assim uma partida estável, operação confiável e função de regulação automática de energia dinâmica.
• Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono: Os rotores turbo das bombas moleculares de suspensão magnética serial são feitos de liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. Em comparação com todos os rotores de liga de alumínio, os rotores turbo são caracterizados por grande redução de peso e grande melhoria de resistência, de modo que sejam alcançados objetivos de alta velocidade de rotação, alto desempenho e alta confiabilidade.
• Tecnologia de resistência à corrosão: As superfícies das peças nas câmaras das bombas moleculares de suspensão magnética serial são tratadas com processos especiais, para que as superfícies possam resistir por muito tempo à corrosão causada por gases corrosivos nos processos de fabricação de semicondutores. Além disso, gases inertes como o N2 são totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as partes de baixo vácuo nas bombas, de modo que seja realizada a função de exaustão estável de gases corrosivos por longos períodos.
• Sistema de controle de temperatura de aquecimento: As bombas moleculares levitadas magneticamente em série são equipadas com um aquecedor elétrico e um controlador de temperatura, de modo que a água de resfriamento, o aquecimento do ar-osso, o aquecimento elétrico e o calor transportado por gases de proteção possam ser monitorados e controlados durante a operação, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor por longo prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias sólidas à temperatura normal e não são depositadas nas bombas, e os requisitos para processos especiais, como de gravação, podem ser atendidos.

Especificações: