میکروسکوپ الکترونی اسکن کوچک دستگاه اسپتر کردن یون هدف برای Au Ag Cu Al

قطعنامه ها: 0.9nm@30KV (SE ) 3nm@1kV (SE)

بزرگنمایی: 1X ~ 3000000X

مرحله نمونه: مرحله موتوری اتسنتریک پنج محور

حداکثر قطر نمونه: 320 میلی متر

قطعنامه: SE: 3nm@30KV، 8nm@3kV، BSE:4nm@30KV

بزرگنمایی: 1x-450000x

مرحله نمونه: مرحله پنج محور

تفنگ الکترونی: رشته تنگستن از پیش تراز شده

قطعنامه: SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV

بزرگنمایی: 1x-600000x

ولتاژ تسریع: 0.2kV-30kV

حداکثر قطر نمونه: 175 میلی متر

تقویت: 1x-3000000x

قطعنامه: 0.8nm@15kV،1.5nm@1kV

ولتاژ تسریع: 0.2kV-30kV

حداکثر نمونه: 320 میلی متر