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+7KV 이온 진공 펌프 진동 65L/S 공기 0.6L/S Ar 펌프 속도

오일 미만 -5KV 이온 진공 펌프 55L/S 공기 12L/S Ar 높은 진공

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좋은 견고 진공 게이트 밸브 쉬운 설치 1E+5 ~ 1E-7 Pa 적용

초 얇은 고 진공 밸브 1E+5 ~ 1E-7 Pa 애플리케이션 CE 승인

전문 진공 게이트 밸브 1E+5에서 1E-7 Pa

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