イオン注入産業用の高温耐性分子真空ポンプ
イオン注入産業用の高温耐性分子真空ポンプ
基本特性
原産国
中国
ブランド名
KYKY
証明書
CE
製品型式
FF-160/620N
取引プロパティ
MOQ
1
単価
upon request
支払方法
T/T
製品概要
ターボ分子ポンプ、FF-160/620N、耐食性、600L/s N2 をポンピング N シリーズ ターボ ポンプは、従来のターボ ポンプに基づいて革新されました。主な改良点は、コアコンポーネントのニッケルメッキとパージ装置の設置であり、これにより N シリーズ ポンプは腐食環境での用途に適しています。 利点: 1 防食メッキ 2 安定したパフォーマンス 3 長寿命 簡単なメンテナンス 4 便利な操作性 5 過酷な使用環境（高温、粉塵、強い腐食など）に対応 応用： 産業用漏れ検出 Low-Eガラス 光学コーティング PVD ITOガラス 太陽電池 CVD 電子ビーム溶接 真空炉 イオン注入 ...
製品詳細
ハイライト:
高温耐性分子真空ポンプ、イオン注入分子真空ポンプ
,Ion Implantation Molecular Vacuum Pump
Type:
反腐食物
Flange:
DN160
Pumping Speed:
600L/S
製品説明
ターボ分子ポンプ、FF-160/620N、耐食性、600L/s N2 をポンピング
N シリーズ ターボ ポンプは、従来のターボ ポンプに基づいて革新されました。主な改良点は、コアコンポーネントのニッケルメッキとパージ装置の設置であり、これにより N シリーズ ポンプは腐食環境での用途に適しています。
利点:
| 1 | 防食メッキ |
| 2 | 安定したパフォーマンス |
| 3 | 長寿命 |
| 簡単なメンテナンス | |
| 4 | 便利な操作性 |
| 5 | 過酷な使用環境（高温、粉塵、強い腐食など）に対応 |
応用：
| 産業用漏れ検出 | Low-Eガラス | 光学コーティング |
| PVD | ITOガラス | 太陽電池 |
| CVD | 電子ビーム溶接 | 真空炉 |
| イオン注入 | 真空電子部品製造 |
仕様:
| フランジ(内側) | DN160 CF/ISO-K |
| フランジ(アウト) KF | DN40 |
| 排気速度(L/s) | N2:600 |
| 彼:380 | |
| H2:240 | |
| アル：580 | |
| 圧縮率 | N2:109 |
| 彼：104 | |
| H2:103 | |
| Ar:109 | |
| 到達圧力(Pa) | CF:6×10-7 |
| ISO-K:6×10-6 | |
| 最大。連続真空前圧力(Pa) | 240 |
| 最大。前真空圧力 | N2:350 |
| 全体のガス (sccm) | N2:1200 |
| 彼：880 | |
| H2:700 | |
| アル：450 | |
| 回転速度（rpm） | 27000 |
| 助走時間(分) | ≤7 |
| 冷却タイプ、標準 | 水 |
| 冷却水消費量（L/min） | ≥1 |
| 冷却水温度(℃) | ≤25 |
| 電源接続: 電圧 (V AC) | 220±22 |
| 最大消費電力(W) | ≤500 |
| コントローラモデル | TCDP-Ⅱ 2.5メートルのケーブル付き |
