グリース潤滑ターボ分子ポンプ システム統合のためのコンパクトな構造

ターボ分子ポンプ 、 FF-100/150E 、 水冷 、 グリース潤滑 、 計装用

KYKYが機器業界向けに開発した機器用分子ポンプシリーズは、コンパクトで高性能なタイプです。機器分野の厳しい要件を完全に満たします。より高い回転速度とより最適な抽出構造により、複数の補助ポンプと互換性があり、低分子ガスに対してより強力なポンプ能力を備えています。

利点:

システム統合に適したコンパクトな構造

より多くの選択肢のためのモジュール設計

より高い前圧耐性

任意の取り付け位置

回転速度を調整可能

応用：

機器用のシリーズ分子ポンプは、質量分析、表面分析、その他の科学研究の分野における高真空発生装置に適した選択肢です。耐食性を備えた機器用分子ポンプは、塗膜産業やエッチング産業などの腐食性ガスを伴うプロセスに応用できます。