CE de la última presión del Pa del reborde 7E-8 de la bomba de vacío del ion de KYKY DN150CF aprobado

Bomba de iones, 3L-100, DN150CF, 110L/s Aire, 24L/s Ar, -5KV, 2.7E-8Pa

La bomba de iones de pulverización es un equipo de generación de vacío para obtener un vacío limpio y ultraalto. La bomba de iones de pulverización catódica es la bomba principal del conjunto de vacío ultraalto sin aceite. La bomba de iones funciona en un sistema cerrado que no requiere una bomba de respaldo de funcionamiento continuo.

Principio:

El material del ánodo es un cilindro de acero inoxidable y el material del cátodo es una placa de titanio. El proceso de descarga Penning ioniza el gas bajo la acción conjunta del campo magnético y el campo eléctrico, logrando así el agotamiento del gas.

Se ha mejorado la bomba de iones triodo para aumentar la tasa de bombeo de gas inerte; Los iones de gas inerte se someten a una incidencia rasante en la rejilla de titanio del cátodo, luego se neutralizan y se reflejan en la pared de la bomba y el ánodo para ser enterrados con la película de titanio. Como el gas inerte enterrado en la pared de la bomba no se liberará debido al bombardeo de iones positivos, se aumenta la velocidad de bombeo del gas inerte.

Ventajas:

Esta serie de bombas tiene ventajas como limpieza, alto grado de vacío, cero ruido, cero vibración y comodidad de funcionamiento.

Aplicaciones:

1. Acelerador de partículas de alta energía

2. Aparato de reacción termonuclear controlado

3. Dispositivo de vacío eléctrico

4. Material semiconductor

5. microscopio electrónico

6. espectrómetro de masas

Presupuesto: