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Dettagli:
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| Flangia: | DN150CF | Pressione estrema: | 7E-8Pa |
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| Voltaggio: | -5KV | Velocità di pompaggio: | 110 l/s di aria |
| Evidenziare: | pompa ionica Varian,pompa ionica Starcell |
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Pompa ionica , 3L-100 , DN150CF , 110L/s Aria , 24L/s Ar , -5KV , 2,7E-8Pa
La pompa a ioni di sputter è un'apparecchiatura per la generazione del vuoto per ottenere un vuoto pulito e ultraelevato. La pompa a ioni di polverizzazione è la pompa principale del set per vuoto ultra-alto senza olio. La pompa ionica funziona in un sistema chiuso che non richiede una pompa di supporto a funzionamento continuo.
Principio:
Il materiale dell'anodo è il cilindro in acciaio inossidabile e il materiale della piastra del catodo è in istitanio. Il processo di scarica Penning ionizza il gas sotto l'azione congiunta del campo magnetico e del campo elettrico, realizzando così l'esaurimento del gas.
La pompa ionica triodo è stata migliorata per aumentare la velocità di pompaggio del gas inerte; gli ioni di gas inerte sono soggetti a incidenza radente nella griglia di titanio del catodo, quindi neutralizzati e riflessi sulla parete della pompa e sull'anodo per essere sepolti con la pellicola di titanio. Poiché il gas inerte sepolto nella parete della pompa non verrà rilasciato a causa del bombardamento di ioni positivi, la velocità di pompaggio del gas inerte viene aumentata.
Vantaggi:
Questa serie di pompe presenta vantaggi quali pulizia, elevato grado di vuoto, zero rumore, zero vibrazioni e comodità di funzionamento.
Applicazioni:
1. Acceleratore di particelle ad alta energia
2. Apparato per la reazione termonucleare controllata
3. Dispositivo di aspirazione elettrico
4. Materiale semiconduttore
5. Microscopio elettronico
6. Spettrometro di massa
Specifiche:
| Modello | 3L-100 | |||
| Flangia | DN150CF | |||
| Velocità di pompaggio (L/S) | ( aria) | 110 | ||
| Velocità di pompaggio | (Ar) | 24 | ||
| Pressione di avvio (Pa) | ≤5×10-4 | |||
| pressione finale (Pa) | 7×10-8 | |||
| (℃) temperatura di cottura | <200 | |||
| Con magnetico | ||||
| Senza magnetico | <300 | |||
| tensione di funzionamento (KV) | -5 | |||
| unità elettrodo | 4 | |||
| dimensione (mm) | 140×210(4-M10) | |||
| L*P*A (mm) | 350×250×307 | |||
| (kg) peso | 38 | |||
Persona di contatto: Mr. Shawn Liu
Telefono: 86-10-82548271
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