Насос водяного охлаждения с магнитной левитацией Система контроля температуры нагрева ISO-K/CF

Насос Maglev, CXF-250/2301, ISO-K/CF, водяное охлаждение на борту

Молекулярные насосы с магнитной левитацией — это насосы, валы которых поддерживаются за счет магнитной силы, отвечающие требованиям применения в областях современного производства полупроводников, производства чипов, промышленного нанесения покрытий и научных приборов.

Технологии:

• Технология управления магнитным подшипником:5-осевой магнитно-левитационный механизм, основанный на передовой международной теории управления, гарантирует такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
• Технология управления приводом двигателя:Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающие максимальную энергию двигателя и автоматически компенсирующие скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.
• Технология композитного ротора из углеродного волокна:Изготовлен путем соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, что позволяет достичь высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.
• Технология защиты от коррозии:Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальной обработкой, благодаря чему поверхности могут в течение длительного времени противостоять коррозии, вызываемой агрессивными газами в процессах производства полупроводников. Кроме того, валы насосов полностью заполнены инертными газами, такими как N2, для защиты низковакуумных частей насосов, благодаря чему реализуется функция стабильного отвода агрессивных газов в течение длительного времени.
• Система контроля температуры нагрева:оснащен электрическим нагревателем и регулятором температуры, охлаждающая вода, воздушный нагрев костей, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, могут контролироваться и контролироваться во время работы, температура в насосах может поддерживаться на определенном уровне в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не откладываются в насосах, а также могут быть выполнены требования к специальному процессу, например травлению.

Преимущества:

Эти насосы имеют такие преимущества, как нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление, простота получения действительно чистого высокого и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов, способность к удалению агрессивных газов в течение длительного времени, высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с помощью прецизионных керамических шариков и функции генерации энергии в случае внезапного отключения питания. Его преимущества заключаются в отсутствии трения, загрязнения и обслуживания, низкой вибрации и возможности установки в любом положении.

Приложения:

Извлечение агрессивных газов, существующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, а также газов, легко коагулирующих при нормальной температуре, в области производства полупроводников, производства зажимов, промышленного нанесения покрытий и научных инструментов, особенно в области производства полупроводников.

Технические характеристики: