Sistema de controlo de temperatura de aquecimento por bomba levitada magneticamente ISO-K/CF

Bomba Maglev, CXF-250/2301, ISO-K/CF, resfriamento de água a bordo

As bombas moleculares levitadas magneticamente são aquelas cujo eixo é suportado em virtude da força magnética, atendendo aos requisitos de aplicação nas áreas de fabricação moderna de semicondutores, fabricação de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.

Tecnologias:

• Tecnologia de controle para rolamento magnético:um eixo de 5 eixos levitado magneticamente, baseado na teoria de controle internacional avançada, para garantir vantagens tão significativas do eixo de alta velocidade como operação levitada estável e confiável.
• Tecnologia de controle de acionamento do motor:Motor DC de alta velocidade e sistema de controle servo de alta eficiência, com energia máxima do motor e para compensar automaticamente a velocidade de rotação do eixo, realizando assim uma partida estável, operação confiável e função de regulação automática de energia dinâmica.
• Tecnologia de rotor composto de fibra de carbono:Fabricado com liga de alumínio de alta resistência e fibra de carbono leve. caracterizado por grande redução de peso e grande melhoria de resistência, de forma que sejam alcançados objetivos de alta velocidade de rotação, alto desempenho e alta confiabilidade.
• Tecnologia de resistência à corrosão:As superfícies das peças nas câmaras são tratadas com processos especiais, para que as superfícies possam resistir por muito tempo à corrosão causada por gases corrosivos nos processos de fabricação de semicondutores. Além disso, gases inertes como o N2 são totalmente preenchidos no eixo das bombas para proteger as peças de baixo vácuo nas bombas, de modo que seja realizada a função de exaustão estável de gases corrosivos por longos períodos.
• Sistema de controle de temperatura de aquecimento:equipado com um aquecedor elétrico e um controlador de temperatura, água de resfriamento, aquecimento ósseo, aquecimento elétrico e calor transportado por gases de proteção podem ser monitorados e controlados durante a operação, a temperatura nas bombas pode ser mantida em algum valor por longo prazo, algumas substâncias gasosas não são convertidas em substâncias sólidas à temperatura normal e não são depositadas nas bombas, e os requisitos para processos especiais como de gravação podem ser atendidos.

As vantagens:

Estas bombas apresentam vantagens como Zero atrito durante a operação e baixo consumo de energia, Fácil aquisição de alto vácuo realmente limpo e ultra-alto vácuo sem lubrificação para bombas, Capaz de extrair gases corrosivos por longo prazo, Alta segurança e longa vida útil devido à proteção dos rolamentos com esferas cerâmicas de precisão e função de geração de energia em caso de desligamento repentino. Possui vantagens como livre de atrito, poluição e manutenção e com baixa vibração, podendo ser instalado em qualquer orientação.

Aplicações:

Extração de gases corrosivos existentes em corrosão, CVD, PVD e implantação iônica e gases facilmente coagulados em temperatura normal nas áreas de fabricação de semicondutores, fabricação de clipes, revestimento industrial e instrumentos científicos, especialmente para.

Especificações: