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터보 분자 펌프

기름 윤활기 터보 분자 진공 펌프 FF-250/2000E 간단한 구조

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물 냉각 터보 분자 펌프 300L/S N2 펌프 속도 모듈 설계

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이온 진공 펌프

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오일 미만 -5KV 이온 진공 펌프 55L/S 공기 12L/S Ar 높은 진공

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좋은 견고 진공 게이트 밸브 쉬운 설치 1E+5 ~ 1E-7 Pa 적용

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전문 진공 게이트 밸브 1E+5에서 1E-7 Pa

스테인레스 스틸 고 진공 게이트 밸브 누출률 1.3×E-10 Pa▪M3/S

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