Pompa turbomolecolare a levitazione magnetica resistente alla corrosione

Pompa Maglev, CXF-200/1401, Raffreddamento ad acqua, A bordo

Il cuscinetto elettromagnetico è anche chiamato “orsi a levitazione magnetica attiva”, costituito da un cuscinetto magnetico, un sensore e un sistema di controllo. Questo design ha una risposta dinamica e una regolazione tempestiva, l'albero ad alta velocità e un funzionamento affidabile.

Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe il cui albero è supportato in virtù della forza magnetica.

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono apparecchiature per la generazione del vuoto sviluppate da KYKY per soddisfare i requisiti applicativi per i campi della moderna produzione di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.

Tecnologie:

• Tecnologia di controllo per cuscinetti magnetici:L'elettromagnetismo adottato è un 5 assi a levitazione magnetica. Questo design può avere una risposta dinamica e una regolazione tempestiva mediante la tecnologia di controllo dinamico delle sospensioni magnetiche attive a circuito chiuso basata su una teoria di controllo internazionale avanzata, in modo da garantire vantaggi significativi dell'albero ad alta velocità come un funzionamento levitato stabile e affidabile.
• Tecnologia di controllo dell'azionamento del motore:Il motore CC ad alta velocità ad alta efficienza e il sistema di servocontrollo vengono applicati alle pompe a levitazione magnetica in serie, in modo da avere la massima energia del motore e compensare automaticamente la velocità di rotazione dell'albero, realizzando così un avvio stabile, un funzionamento affidabile e una funzione di regolazione automatica dell'energia dinamica.
• Tecnologia del rotore composito in fibra di carbonio:I rotori turbo delle pompe molecolari a sospensione magnetica seriale sono realizzati combinando una lega di alluminio ad alta resistenza e una fibra di carbonio leggera. Rispetto a tutti i rotori in lega di alluminio, i rotori turbo sono caratterizzati da una notevole riduzione del peso e da un notevole miglioramento della resistenza, in modo da raggiungere obiettivi di elevata velocità di rotazione, alte prestazioni ed elevata affidabilità.
• Tecnologia resistente alla corrosione:Le superfici delle parti nelle camere delle pompe molecolari a sospensione magnetica seriale vengono trattate con un processo speciale, in modo che le superfici possano resistere a lungo alla corrosione causata dai gas corrosivi nei processi di produzione dei semiconduttori. Inoltre, gas inerti come N2 sono completamente riempiti negli alberi delle pompe per proteggere le parti a basso vuoto delle pompe, in modo da realizzare la funzione di scarico stabile dei gas corrosivi per lunghi periodi.
• Sistema di controllo della temperatura del riscaldamento:Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono dotate di un riscaldatore elettrico e un regolatore di temperatura, in modo che l'acqua di raffreddamento, il riscaldamento dell'aria, il riscaldamento elettrico e il calore trasportato dai gas protettivi possano essere monitorati e controllati durante il funzionamento, la temperatura nelle pompe possa essere mantenuta a un certo valore per un lungo periodo, alcune sostanze gassose non vengono convertite in sostanze solide a temperatura normale e non si depositano nelle pompe e possono essere soddisfatti i requisiti per processi speciali come l'attacco.

I vantaggi:

1. Zero attrito durante il funzionamento e basso consumo energetico

2. Facile da ottenere un vuoto elevato e un vuoto ultraelevato davvero puliti senza lubrificazione per le pompe

3. Capace di estrarre gas corrosivi a lungo termine

4. Elevata sicurezza e lunga durata grazie alla protezione dei cuscinetti con sfere in ceramica di precisione

5. funzione di generazione di energia in caso di spegnimento improvviso

Specifiche: